KR20080098336A

Pakage-in-pakage device using through-hole via die on saw streets and manufacturing method

Abstract

A semiconductor device includes a first die having a top surface, a bottom surface, and a peripheral surface. A bond pad is formed on the upper surface. An organic material is coupled to the first die and positioned about the peripheral surface. A via hole is formed in the organic material. A metal trace connects the via hole to the bond pad. A redistribution layer (RDL) has interconnect pads positioned on the top surface of the first die.Semiconductor device, metal trace, wire bond, bond pad, bump, via hole, semiconductor device die

KR20080098336A, drawing sheet 1
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Term

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  5. Projected expiry

45 claims: 4 independent, 41 dependent

  1. 1
    반도체 장치에 있어서, 상면, 저면 및 주연 면을 갖는 제 1다이와;상기 상면 상에 형성된 본드 패드와;상기 제 1다이에 연결되고 상기 주연면 주위에 위치된 유기 재료와;상기 유기 재료에 형성된 비어 홀과;상기 비어 홀을 상기 본드 패드에 연결하는 금속 트레이스와;상기 비어 홀에 용착된 도전성 재료와;상기 제 1다이의 상면상에 위치된 상호 접속 패드들을 갖는 재배선층(RDL)을;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  2. 2
    제 1항에 있어서, 상기 제 1다이에 부착된 제 2와이어 본드 다이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  3. 3
    제 2항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 도전성 재료에 와이어 본디드되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  4. 4
    제 3항에 있어서, 상기 제 2다이가 기판 또는 리드프래임 구조체에 와이어 본디드되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  5. 5
    제 2항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 본드 패드에 와이어 본디드되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  6. 6
    제 2항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이를 오버행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  7. 7
    제 2항에 있어서, 상기 제 2다이가 다이 어태치(D/A) 부착 재료를 이용하여 상기 제 1다이에 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  8. 8
    제 1항에 있어서, 쏠더 범프를 이용하여 상기 제 1다이에 전기적으로 연결되는 제 2다이를 더 포함하는 반도체 장치.
  9. 9
    제 8항에 있어서, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이 사이에 위치된 언더필 재료를 더 포함하는 반도체 장치.
  10. 10
    제 9항에 있어서, 상기 제 2다이에 부착되고 상기 도전성 재료에 와이어 본디드된 제 3다이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
  11. 11
    반도체 패키지-인-패키지(PiP) 장치에 있어서, 제 1다이의 주연면을 따라 위치된 관통-홀 비어(THV)를 포함하고, 기판 또는 리드프래임 상에 위치된 상기 제 1다이와;상기 제 1다이의 상기 THV에 전기적으로 연결되거나, 상기 기판 또는 리드프래임 구조체에 전기적으로 연결된 제 2다이와;상기 제 1다이 및 상기 제 2다이상에 형성된 켑슐화체를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  12. 12
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 THV에 와이어 본디드된 와이어-본드 다이인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  13. 13
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 THV에 연결된 상기 본드 패드에 와이어 본디드되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  14. 14
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이를 오버행하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  15. 15
    제 11항에 있어서, 상기 제 1다이 상면상에 형성된 상호 접속 패드를 결합하고, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이가 상기 상호 접속 패드에 연결된 쏠더 범프를 통해서 전기적으로 연결되는 재배선 층(RDL)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  16. 16
    제 15항에 있어서, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이 사이에 위치된 언더필 재료를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  17. 17
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이에 연결되고 상기 THV에 와이어 본디드된 제 3다이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인 패키지 장치.
  18. 18
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가 제 1다이에 장착된 하나의 리드프래임 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  19. 19
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이에 장착된 하나의 어래이 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  20. 20
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이에 장착된 인버티드된 상면 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  21. 21
    제 20항에 있어서, 상기 인버티드된 상면 패키지에 장착된 제 3다이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  22. 22
    제 11항에 있어서, 상기 제 2다이가, 상기 제 1다이와 상기 기판 또는 상기 리드프래임 구조체 사이에 위치된 인버티드 저면 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  23. 23
    제 22항에 있어서, 제 3다이의 주연면을 따라 위치된 THV를 포함하고, 상기 제 1다이 상에 적층되거나 또는 상기 제 1다이에 인접하여 위치된 상기 제 3다이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  24. 24
    제 22항에 있어서, 상기 THV에 연결된 일체형 패시브 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치.
  25. 25
    반도체 장치 제조 방법에 있어서, 상면, 저면 및 주연면을 갖는 제 1다이를 제공하는 단계와;상기 상면상에 형성된 본드 패드를 제공하는 단계와;상기 제 1다이에 연결되고 상기 주연면 주위에 위치된 유기 재료를 제공하는 단계와;상기 유기 재료에 형성된 비어 홀을 제공하는 단계와;상기 비어 홀을 상기 본드 패드에 연결하는 금속 트레이스를 제공하는 단계와;상기 비어 홀에 용착된 도전성 재료를 제공하는 단계와;상기 제 1다이의 상면상에 위치된 상호 접속 패드들을 갖는 재배선층(RDL)을 제공하는 단계를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조 방법.
  26. 26
    제 25항에 있어서, 쏠더 범프를 이용하여 상기 제 1다이에 전기적으로 연결된 제 2다이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조 방법.
  27. 27
    제 26항에 있어서, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이 사이에 위치된 언더필 재료를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조 방법.
  28. 28
    제 27항에 있어서, 상기 제 2다이에 부착되고 상기 도전성 재료에 와이어 본디드된 제 3다이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조 방법.
  29. 29
    반도체 패키기-인-패키지(PiP) 장치 제조 방법에 있어서, 제 1다이 주연면을 따라 위치된 하나의 관통-홀 비어(THV)를 포함하고, 기판 또는 리드프래임 상에 위치된 상기 제 1다이를 제공하는 단계와;상기 제 1다이의 상기 THV에 전기적으로 연결되거나 또는 상기 기판 또는 상기 리드프래임 구조체에 전기적으로 연결된 제 2다이를 제공하는 단계와;상기 제 1다이 및 상기 제 2다이상에 형성된 켑슐화체를 제공하는 단계를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  30. 30
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 THV에 와이어 본디드된 와이어-본드 다이인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  31. 31
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 THV에 연결된 본드 패드에 와이어 본디드되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  32. 32
    제 29항에 있어서, 상기 제 1다이 상면상에 형성된 상호 접속 패드를 결합하고, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이가 상기 상호 접속 패드에 연결된 쏠더 범프를 통해서 전기적으로 연결되는 재배선 층(RDL)을 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  33. 33
    제 29항에 있어서, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이 사이에 위치된 언더필 재료를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  34. 34
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이에 연결되고 상기 THV에 와이어 본디드된 제 3다이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인 패키지 장치 제조 방법.
  35. 35
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이에 장착된 리드프래임 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  36. 36
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이에 장착된 하나의 어래이 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  37. 37
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이가 상기 제 1다이에 장착된 인버티드된 상면 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  38. 38
    제 37항에 있어서, 상기 인버티드된 상면 패키지에 장착된 제 3다이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  39. 39
    제 29항에 있어서, 상기 제 2다이가, 상기 제 1다이와 상기 기판 또는 상기 리드프래임 구조체 사이에 위치된 인버티드 저면 패키지내로 일체화되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  40. 40
    제 39항에 있어서, 제 3다이의 주연면을 따라 위치된 THV를 포함하고, 상기 제 1다이 상에 적층되거나 또는 상기 제 1다이에 인접하여 위치된 상기 제 3다이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  41. 41
    제 40항에 있어서, 상기 THV에 연결된 일체형 패시브 장치를 제공하는 단계를 더 포함하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  42. 42
    제 29항에 있어서, 상기 제 1다이에 대한 상면, 저면 및 주연면을 제공하는 단계와;상기 상면상에 형성된 본드 패드를 제공하는 단계와;상기 제 1다이에 연결되고 상기 주연면 주위에 위치된 유기 재료를 제공하는 단계와;상기 유기 재료에 형성된 비어 홀을 제공하는 단계와;상기 비어 홀을 상기 본드 패드에 연결하는 금속 트레이스를 제공하는 단계와;상기 비어 홀에 용착된 도전성 재료를 제공하는 단계와;상기 제 1다이의 상기 상면상에 위치된 상호 접속 패드들을 갖는 재배선층(RDL)을 제공하는 단계를;더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  43. 43
    제 42항에 있어서, 쏠더 범프를 이용하여 상기 제 2다이를 상기 제 1다이에 전기적으로 연결시키는 단계를 더 포함하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  44. 44
    제 43항에 있어서, 상기 제 1다이 및 상기 제 2다이 사이에 위치된 언더필 재료를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
  45. 45
    제 44항에 있어서, 상기 제 2다이에 부착되고 상기 도전성 재료에 와이어 본디드된 제 3다이를 제공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지-인-패키지 장치 제조 방법.
Independent claims45