PL205564B1

Low-e matchable coated articles, and methods of making the same

Abstract

A head treatable coated article including an infrared (IR) reflecting layer (e.g., of or including Ag), the coated article being able to attain a lambdaE* (glass side) no greater than about 3.5, more preferably no greater than 3.0, and even more preferably no greater than 2.6, following or due to heat treatment (e.g., thermal tempering). Accordingly, low-E (i.e., low emissivity) coated articles of certain embodiments of this invention appear from the glass side thereof visually similar to the naked eye both before and after heat treatment. Good matchability characteristics (i.e., low lambdaE* values) combined with good durability can be achieved by controlling to what extent barrier layer(s) in contact with the IR reflecting layer are nitrided and to what thickness(es) they are sputtered. Optionally, certain embodiments of this invention relate to coated articles that also have high visible transmission and/or good durability. Coated articles herein may be used in the context of insulating glass (IG) window units, vehicle windows, or any other suitable applications. In certain embodiments of this invention, an exemplary layer stack includes: glass/Si3N4/NiCrNx/Ag/NiCrNx/Si3N4. Other materials may instead be used without departing from the scope and/or spirit of the instant invention which is a low-E matchable and/or durable product.

PL205564B1, drawing sheet 1
Sheet 1 of 3

Term

No projected expiry on record.

  1. Priority
  2. Filed
  3. Granted
  4. Today

13 claims: 6 independent, 7 dependent

  1. 1
    A method of making a coated article comprising depositing at least one first dielectric layer on a glass substrate, wherein the layer system is deposited on the first dielectric layer, the layer system including an infrared (IR) reflecting metal layer disposed between and in contact with the first and second. , metal inclusive layers, wherein at least one metal inclusive layer comprises NiCrNx and is at least partially nitrided, and the flow of nitrogen gas is controlled during the sputtering of the NiCrNx inclusive metal layer such that the flow of nitrogen gas is 4-12 cm3/ kW (sccm / kW), and at least one second dielectric layer is deposited over the layer system in which, before heat treatment, the glass substrate with the layer system deposited thereon has a layered resistance Rs of not more than 20 ohms / unit area, and the substrate with a layer system deposited thereon is subjected to a heat treatment to obtain, as a result of this treatment, a substrate with a layer system deposited thereon showing ΔΕ * - on the glass side - not greater than 3.5. 1. Sposób wytwarzania wyrobu powlekanego obejmujący osadzanie co najmniej jednej pierwszej warstwy dielektrycznej na szklanym podłożu, znamienny tym, że osadza się układ warstw na pierwszej warstwie dielektrycznej, przy czym układ warstw obejmuje warstwę metalu odbijającą podczerwień (IR) umieszczoną między i w styczności z, pierwszą i drugą, warstwami obejmującymi metal, przy czym co najmniej jedna warstwa obejmująca metal zawiera NiCrNx i jest co najmniej częściowo naazotowana, oraz kontroluje się przepływ gazu azotowego podczas napylania katodowego warstwy obejmującej metal zawierającej NiCrNx, tak aby przepływ gazu azotowego wynosił od 4-12 cm3/kW (sccm/kW), oraz osadza się co najmniej jedną drugą warstwę dielektryczną nad układem warstw, w którym przed obróbką cieplną, szklane podłoże z osadzonym na nim układem warstw wykazuje rezystancję warstwową Rs nie większą niż 20 om/jednostka powierzchni, i podłoże z osadzonym na nim układem warstw poddaje się obróbce cieplnej do uzyskania wskutek tej obróbki podłoża z osadzonym na nim układem warstw wykazującym ΔΕ* - od strony szkła - nie większe niż 3,5.
  2. 7
    The method according to p. metal containing Ni and N. 7. Sposób według zastrz. cych metal zawiera Ni i N.
  3. 8
    The method according to p. it is nitrided, but not more than 75%. 8. Sposób według zastrz. jest naazotowana, ale nie więcej niż w 75%. 30-70 nm (300-700 A), 0,5-1,5 nm (5-15 A), 4-12 nm (40-120 A), 0,3-1,2 nm (3-12 A), 3,5-70 nm (350-700 A), 30-70 nm (300-700 A), 0.5-1.5 nm (5-15 A), 4-12 nm (40-120 A), 0.3-1.2 nm (3-12 A ), 3.5-70 nm (350-700 A), 1, znamienny tym, że każda z, pierwsza i druga, warstw zawierają1, znamienny tym, że co najmniej jedna warstwa zawierająca metal The method of claim 1, wherein each of the first and second layers comprises 1, characterized in that the at least one metal-containing layer PL 205 564 B1 PL 205 564 B1
  4. 10
    A method of making a coated article comprising depositing on a glass substrate a layer system comprising an IR reflecting metal layer disposed between and in contact with first and second barrier layers, characterized in that the barrier layers are deposited so as to be at least partially nitrided. the flow of nitrogen gas during sputtering of at least one of the barrier layers so that the flow of nitrogen gas ranges from 4-12 cm3/ kW (sccm / kW), and the substrate is heat treated with the layer system deposited thereon to obtain as a result of this treatment the substrate with the layer system deposited thereon showing ΔΕ * - on the glass side - not greater than 3.5. 10. Sposób wytwarzania wyrobu powlekanego obejmujący osadzanie na szklanym podłożu układu warstw zawierającego warstwę metalu odbijającą podczerwień IR umieszczoną między i w stycznoś ci z, pierwszą i drugą, warstwami barierowymi, znamienny tym, ż e osadza się warstwy barierowe tak, że są co najmniej częściowo naazotowane, kontroluje się przepływ gazu azotowego podczas napylania katodowego co najmniej jednej z warstw barierowych, tak aby przepływ gazu azotowego wynosił od 4-12 cm3/kW (sccm/kW), i poddaje się obróbce cieplnej podłoże z osadzonym na nim układem warstw do uzyskania wskutek tej obróbki podłoża z osadzonym na nim układem warstw wykazującym ΔΕ* - od strony szkła - nie większe niż 3,5.
  5. 12
    A coated article produced by the method of claims 1-9. 12. Wyrób powlekany wytworzony sposobem zdefiniowanym w zastrzeżeniach 1-9.
  6. 13
    A coated article produced by the method of claims 10-11. 13. Wyrób powlekany wytworzony sposobem zdefiniowanym w zastrzeżeniach 10-11.