Optical element having an antireflection film
Abstract
The subject of the invention is an optical element equipped with an anti-reflection coating, which has a plastic carrier and an applied l/4 - l/2 - l/4 or l/4 - l/4 - l/2 - l/4 layer structure (l = 500 nm), it has a layered anti-reflection coating in accordance with the mentioned order. The subject of the invention is also the anti-reflection coating itself. The essence of the optical element and antireflection coating according to the invention is that the sub/2 layer is formed by an equivalent film consisting of at least three layers, with a refractive index between 1.8 and 2.4, the even-numbered layer of which is made of silicon dioxide. The anti-reflection coating according to the invention, as well as the optical element provided with such a coating, can be used expediently in the production of glasses. HE

Term
No projected expiry on record.
- Priority
- Filed
- Published
- Today
15 claims: 15 independent, 0 dependent
- 1-27SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elem, amelynek műanyag hordozója és arra felvitt λ/4 - λ/2 - λ/4 vagy λ/4 - λ/4 - λ/2 - λ/4 rétegszerkezetű (λ = 500 nm), az említett sorrendnek megfelelően rétegzett fényvisszaverődés-gátló bevonata van, azzal jellemezve, hogy a λ/2-réteget egy legalább három rétegből álló, 1,8 és 2,4 közé eső törésmutatójú ekvivalens film képezi, amelynek páros sorszámú rétege szilícium-dioxidból van.
- 2Az 1. igénypont szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy a λ/2réteget képező ekvivalens film páratlan sorszámú rétege a titán-oxid, a cirkóniumoxid, a nióbium-oxid és a tantál-oxid közül választott legalább egy fémoxidból van.
- 3Az 1. igénypont szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy a λ/2réteget képező ekvivalens film páratlan sorszámú rétege nióbium-oxidból van.
- 4Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy a λ/2-réteg alatt kialakított λ/4-réteget egy legalább két rétegből álló ekvivalens film képezi.
- 5A 4. igénypont szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy a λ/4-réteg a λ/2-réteg páratlan sorszámú és páros sorszámú rétegeinek kialakítására felhasznált fémoxidokkal megegyező fémoxidokból van.
- 6A 4. igénypont szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy a λ/4-réteget képező ekvivalens film egy nióbium-oxid rétegből és egy szilícium-dioxid rétegből áll.
- 7Az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy a műanyag hordozó és a fényvisszaverődés-gátló bevonat között alapréteg van kialakítva.
- 8A 7. igénypont szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy az alapréteg fémes nióbiumból van.
- 9Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy alapréteggel ellátott műanyag hordozója és azon kialakított λ/4 - λ/2 - λ/4 szerkezetű fényvisszaverődés-gátló bevonata van, ahol az alapréteg és a fényvisszaverődés-gátló bevonat 1-7. sorszámú rétegek alkotta rétegszerkezet formájában van kialakítva, továbbá ahol az alapréteget az 1. sorszámú réteg képezi, -28a λ/4-réteget a 2. és 3. sorszámú rétegek alkotják, a λ/2-réteget a 4., 5. és 6. sorszámú rétegek képezik, és a második λ/4-réteget a 7. sorszámú réteg képezi, továbbá a felsorolt rétegek az alábbi a)-j) követelmények legalább egyikét kielégítik, ahol a) az 1. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;b) a 2. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;c) a 3. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;d) a 4. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;e) az 5. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;f) a 6. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;g) a 7. sorszámú réteg egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;h) a 2. és 3. sorszámú réteg képezte λ/4-réteg eredő törésmutatója 1,65 és 1,80 közé esik;i) a 4., 5. és 6. sorszámú rétegek képezte λ/2-réteg eredő törésmutatója 1,85 és 2,25 közé esik;és j) a 2., a 4. és a 6. sorszámú rétegeket képező erősen visszaverő rétegek mindegyike a titán-oxid, a nióbium-oxid és a tantál-oxid közül választott legalább egy fémoxidból van.
- 10Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti optikai elem, azzal jellemezve, hogy alapréteggel ellátott műanyag hordozója és azon kialakított λ/4 - λ/2 - λ/4 szerkezetű fényvisszaverődés-gátló bevonata van, ahol az alapréteg és a fényvisszaverődés-gátló bevonat 1-7. sorszámú rétegek alkotta rétegszerkezet formájában van kialakítva, ahol az alapréteget az 1. sorszámú réteg képezi, a λ/4réteget a 2. és 3. sorszámú rétegek alkotják, a λ/2-réteget a 4., 5. és 6. sorszámú -29rétegek képezik, és a második λ/4-réteget a 7. sorszámú réteg képezi, továbbá ahol az 1. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;a 2. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;a 3. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;a 4. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;az 5. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;a 6. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;a 7. sorszámú réteg egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;a 2. és 3. sorszámú réteg képezte λ/4-réteg eredő törésmutatója 1,65 és 1,80 közé esik;a 4., 5. és 6. sorszámú rétegek képezte λ/2-réteg eredő törésmutatója 1,85 és 2,25 közé esik;és a 2., a 4. és a 6. sorszámú rétegeket képező erősen visszaverő rétegek mindegyike a titán-oxid, a nióbium-oxid és a tantál-oxid közül választott legalább egy fémoxidból van.
- 11Fényvisszaverődés-gátló bevonat, amelynek λ/4 - λ/2 - λ/4 vagy λ/4 - λ/4 - λ/2 - λ/4 rétegszerkezete (λ = 500 nm) van, azzal jellemezve, hogy a λ/2-réteget egy legalább három rétegből álló, 1,8 és 2,4 közé eső törésmutatójú ekvivalens film képezi, amelynek páros sorszámú rétege szilícium-dioxidból van.
- 12A 11. igénypont szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonat, azzal jellemezve, hogy a λ/2-réteget képező ekvivalens film páratlan sorszámú rétege a titán-oxid, a cirkónium-oxid, a nióbium-oxid és a tantál-oxid közül választott legalább egy fémoxidból van.
- 13A 11. igénypont szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonat, azzal jellemezve, hogy a λ/2-réteget képező ekvivalens film páratlan sorszámú rétege nióbium-oxidból van.
- 14Az 1-10. igénypontok bármelyike szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elem alkalmazása szemüveglencseként.
- 15A 11-13. igénypontok bármelyike szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonat alkalmazása szemüveglencsén. Aktaszámunk:95302-13034/SZT/GL Ügyintézőnk: Szabó Zsolt
Independent claims15
310 paragraphs in 4 sections, as filed
KÖZZÉTÉTELI PÉLDÁNY
<img file="HUP0103482A2_D0001.tif" />
fel
FÉNYVISSZAVERŐDÉS-GÁTLÓ BEVONATTAL ELLÁTOTT OPTIKAI ELEM, VALAMINT FÉNYVISSZAVERŐDÉS-GÁTLÓ BEVONAT
A találmány tárgya olyan fényvisszaverödés-gátló bevonattal ellátott optikai elem, amelynek műanyag hordozója és arra felvitt λ/4 - λ/2 - λ/4 vagy λ/4 - λ/4 λ/2 - λ/4 rétegszerkezetű (λ = 500 nm), az említett sorrendnek megfelelően rétegzett fényvisszaverödés-gátló bevonata van. A találmány tárgya emellett maga a fényvisszaverödés-gátló bevonat is. Általánosabban tekintve a találmány műanyag hordozóra felvitt fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elemhez, speciálisan műanyag hordozóra felvitt jó hőállósággal rendelkező fényvisszaverődésgátló bevonattal ellátott optikai elemhez kapcsolódik.
Napjainkban ismeretesek már műanyag hordozóra felvitt fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elemek. Például a JP-291501 sz. japán közzétételi irat olyan fényvisszaverödés-gátló bevonattal ellátott optikai elemet ismertet, amelynek fő összetevőként titán-dioxidot tartalmazó erősen (fény)visszaverő λ/2-rétege van.
Általában véve azonban az ilyen, műanyag hordozóra felvitt fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elemek hőállósága az üveg hordozóra felvitt fényvisszaverődés-gátló bevonattal kialakított optikai elemek hőállóságához képest nem megfelelő, aminek oka az, hogy a műanyag hordozót gőzfázisból történő rétegelőállításnál nem lehet melegíteni. Ebből kifolyólag tehát kívánatos lenne műanyag hordozóra felvitt fényvisszaverődés-gátló bevonattal rendelkező, fokozott hőállóságot mutató optikai elemek kifejlesztése.
A találmánnyal célunk műanyag hordozóra felvitt fényvisszaverődés-gátló bevonattal rendelkező, jó hőállóságú optikai elem megvalósítása.
A fentiekben ismertetett nehézségek kitartó tanulmányozásának eredményeként azt találtuk, hogy az optikai elem hőállósága egy olyan, legalább három
95302-13034/SZT/GL
2réteget tartalmazó ekvivalens réteg alkalmazásával jelentős mértékben megnövelhető, amelynek kialakításához erősen visszaverő réteget, továbbá gyengén visszaverő tulajdonságú anyagból, például szilícium-dioxidból lévő réteget használunk fel.
Kitűzött célunkat tehát olyan fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elem kidolgozásával, valamint fényvisszaverődés-gátló bevonat létrehozásával értük el, amelyekben a λ/2-réteget egy legalább három rétegből álló, 1,8 és 2,4 közé eső törésmutatójú ekvivalens film képezi, amelynek páros sorszámú rétege szilícium-dioxidból van.
A találmány szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elemet előnyösen szemüveglencseként, a fényvisszaverődés-gátló bevonatot pedig előnyösen szemüveglencsén alkalmazzuk.
Az ekvivalens film egy olyan réteget jelent, amely legalább két, egymástól különböző, stabil anyagból származtatott réteget tartalmaz. Egy ilyen ekvivalens film használatával a megcélzott optikai tulajdonságokat (például törésmutatót) még olyan esetekben is elérhetjük, amikor azok mindössze egyetlen réteg használatával nem érhetők el.
A találmány szerint jó hőállósággal és fényvisszaverődés-gátló tulajdonságokkal rendelkező optikai elemet kapunk, ha az erősen visszaverő λ/2-réteget egy három rétegből felépülő ekvivalens film képezi. A hőállóság és a fényvisszaverődés-gátló tulajdonság további javítása céljából az erősen visszaverő λ/2-réteget egy legalább három réteget tartalmazó ekvivalens film formájában alakíthatjuk ki.
Ahhoz, hogy jó hőállóságot és fényvisszaverődés-gátló tulajdonságot kapjunk, a λ/2-réteget képező ekvivalens film páratlan sorszámú rétege előnyösen egy jól ismert, erősen visszaverő, gőzfázisból történő rétegelőállításnál alkalmazott anyagot, például titán-oxidot (TiO<sub>2</sub>), cirkónium-oxidot, tantál-oxidot (Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>) és nióbium-oxidot (Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>) tartalmazó réteg. A szóban forgó réteg ennél előnyösebben a TiO<sub>2</sub>, a Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub> és az Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub> közül választott legalább egy, gőzfázisból történő rétegelőállításnál alkalmazott anyagból, legelőnyösebben pedig gőzfázisból történő rétegelőállításnál használt Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>-ból van. A gyártási hatékonyságot tekintve kívánatos, hogy a páratlan sorszámú rétegek mindegyike azonos anyagösszetételű legyen.
-3Az erősen visszaverő λ/2-réteg eredő törésmutatója 1,8 és 2,4 közé, előnyösebb fizikai tulajdonságok elérése céljából pedig előnyösebben 1,85 és 2,25 közé esik. Az erősen visszaverő λ/2-réteg rétegszerkezetét úgy alakítjuk ki, hogy az éppen a kijelölt tartományba eső törésmutatót eredményezzen.
A találmány szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonatnál az erősen visszaverő λ/2-rétegen kialakítandó λ/4-réteget előnyösen szilícium-dioxid réteg formájában valósítjuk meg. Az erősen visszaverő λ/2-réteg alatt kialakítandó λ/4-réteget a jó fényvisszaverődés-gátló képesség és hőállóság elérése érdekében előnyösen egy legalább két rétegből álló ekvivalens film képezi. A szóban forgó réteget előnyösen egy olyan kétrétegű ekvivalens film formájában alakítjuk ki, amely egy szilícium-dioxid rétegből és egy erősen visszaverő, gőzfázisból történő rétegelőállításnál alkalmazott anyagból, például titán-oxidból, cirkónium-oxidból, tantáloxidból vagy nióbium-oxidból áll. A szóban forgó réteget ennél előnyösebben egy kétrétegű, szilícium-dioxid rétegből és nióbium-oxid rétegből álló ekvivalens film képezi.
A gyártási hatékonyság szempontjából kívánatos, hogy a λ/4-réteget képező ekvivalens film gőzfázisból történő rétegelőállítással megvalósított kialakításánál a kiindulási anyagok megegyezzenek a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert λ/2-réteget képező ekvivalens film készítésénél alkalmazott kiindulási anyagokkal.
A találmány szempontjából előnyös nióbium-oxid réteget egy ionok által segített folyamattal történő kialakításnál a gőzfázisból történő rétegelőállítás anyagaként 100%-ban nióbium-oxidot alkalmazó módszerrel, vagy nióbium-oxidot, cirkónium-oxidot és ittrium-oxidot, továbbá adott esetben alumínium-oxidot tartalmazó por szinterelésével, majd az oxidkeverék gőzének a színtereit anyagból történő előállításával, továbbá a szóban forgó gőznek a hordozóra történő leválasztását megvalósító eljárással állítjuk elő.
A gőz hordozóra történő leválasztásánál a szinterelésre váró anyag keverékösszetétele előnyösen olyan, amelynél a réteg megfelelő fizikai tulajdonságainak biztosítása érdekében a gőzfázisból történő rétegelőállításnál alkalmazandó összetétel egészének 60-90 tömeg%-át nióbium-oxid, 5-20 tömeg%-át cirkónium-oxid és 5-35 tömeg%-át ittrium-oxid képezi. Ha a fenti összetételhez alu
-4mínium-oxidot is hozzáadunk, akkor az alumínium-oxid az összetétel teljes cirkónium-oxid és ittrium-oxid tartalmának előnyösen 0,3-7,5 tömeg%-át teszi ki.
A találmány szerinti optikai elemnél előnyösen a műanyag hordozó és a fényvisszaverődés-gátló bevonat között alapréteg van kialakítva. Az alapréteg szempontjából szilícium-dioxid vagy fémes nióbium az előnyös, a fémes nióbium azonban lényegesen előnyösebb. Szilícium-dioxidból kialakított alapréteg esetén az alapréteg rétegvastagsága a réteg szakítószilárdságától függően célszerűen 0,1 λ és 5λ közé, míg fémes nióbiumból kialakított alapréteg esetén a réteg fényáteresztő képességének biztosítása céljából előnyösen 0,005λ és 0,015λ közé esik.
A fémes nióbiumból kialakított alapréteg előnyei a következők: a műanyag hordozó és a fényvisszaverődés-gátló bevonat között megfelelő tapadást biztosít, kiváló hőállóságot, ütőszilárdságot és karcállóságot mutat, továbbá a fém következtében fellépő abszorpcióképessége alacsony. A fémes nióbium (Nb) réteget előnyösen valamilyen ionok által segített folyamatban alakítjuk ki.
Az ionok által segített folyamatban a kialakítandó réteg oxidációjának megelőzése céljából ionizáló gázként előnyösen argont (Ar) alkalmazunk, amely stabilizálja a létrejött réteg minőségét, továbbá optikai elven működő rétegvastagságmérő eszköz alkalmazásán keresztül a réteg vastagságának egyszerű szabályozhatóságát teszi lehetővé.
A műanyag hordozó és az alapréteg közötti megfelelő tapadás biztosítása céljából, valamint az ionok által segített folyamatban a gőzfázisból történő rétegelőállításnál a kiindulási rétegmorfológia kellő mértékű egyenletességének biztosítása céljából a hordozót az alaprétegnek a hordozóra való felhordását megelőzően ionágyús kezelésnek vethetjük alá. Az ionágyús előkezelésnél az ionizáló gázt oxigén vagy argon képezheti. Az előnyös teljesítmény-tartomány biztosításához a gyorsítófeszültség 50 V és 200 V között, a gyorsítóáram pedig 50 mA és 150 mA között van.
A találmány szerinti optikai elem fényvisszaverődés-gátló bevonatának létrehozására közönséges gőzfázisból történő rétegelőállítási eljárást, ionok által segített eljárást, vagy valamilyen ezekhez hasonló módszert alkalmazhatunk.
-5A találmány szerinti optikai elemnél alkalmazható műanyag hordozó tetszőleges anyagból készülhet, beleértve például a metil-metakrilát homopolimereket, a metil-metakrilát és egy vagy több további monomer kopolimerjeit, a dietilénglikol-bisz-allil-karbonát homopolimereket, a dietilén-glikol-bisz-allil-karbonát és egy vagy több további monomer kopolimerjeit, a kéntartalmú kopolimereket, a halogén-tartalmú kopolimereket, a polikarbonátokat, a polisztirolokat, a polivinilkloridokat, a telítetlen poliésztereket, a polietilén-tereftalátokat, valamint a poliuretánokat.
A találmány szerinti optikai elem szükség esetén a műanyag hordozó és az alapréteg között elrendezett kikeményített réteget is tartalmazhat.
A kikeményített réteg előállításához rendszerint fémoxid kolloid szemcséket és valamilyen szerves szilícium vegyületet tartalmazó bevonatösszetétel kikeményítésével nyert réteget használunk.
A fémoxid kolloid szemcséket például volfrám-oxid (WO<sub>3</sub>), cink-oxid (ZnO), szilícium-dioxid (SiO<sub>2</sub>), alumínium-oxid (AI<sub>2</sub>O<sub>3</sub>), titán-dioxid (TiO<sub>2</sub>), cirkónium-oxid (ZrO<sub>2</sub>), ón-oxid (SnO<sub>2</sub>), berillium-oxid (BeO) vagy antimon-oxid (Sb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>) kolloid szemcséi képezhetik. A felsorolt fémoxidok közül egyet vagy többet, önmagában vagy a felsorolt fémoxidok közül választott további fémoxidokkal elegyítve használhatunk.
A találmány szerinti, fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elem egy lehetséges újabb előnyös kiviteli alakjának alapréteggel ellátott műanyag hordozója és azon kialakított λ/4 - λ/2 - λ/4 szerkezetű fényvisszaverődés-gátló bevonata van, ahol az alapréteg és a fényvisszaverődés-gátló bevonat 1-7. sorszámú rétegek alkotta rétegszerkezet formájában van kialakítva, továbbá ahol az alapréteget az 1. sorszámú réteg képezi, a λ/4-réteget a 2. és 3. sorszámú rétegek alkotják, a λ/2-réteget a 4., 5. és 6. sorszámú rétegek képezik, és a második λ/4-réteget a 7. sorszámú réteg képezi, továbbá a felsorolt rétegek az alábbi a)-j) követelmények legalább egyikét kielégítik, ahol a) az 1. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;
b) a 2. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;
-6 —
c) a 3. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;
d) a 4. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;
e) az 5. sorszámú réteget egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;
f) a 6. sorszámú réteget egy 2,04 és 2,37 közé eső törésmutatóval rendelkező erősen visszaverő réteg képezi;
g) a 7. sorszámú réteg egy 1,43 és 1,47 közé eső törésmutatóval rendelkező szilícium-dioxid réteg képezi;
h) a 2. és 3. sorszámú réteg képezte λ/4-réteg eredő törésmutatója 1,65 és 1,80 közé esik;
i) a 4., 5. és 6. sorszámú rétegek képezte λ/2-réteg eredő törésmutatója 1,85 és 2,25 közé esik; és
j) a 2., a 4. és a 6. sorszámú rétegeket képező erősen visszaverő rétegek mindegyike a titán-oxid, a nióbium-oxid és a tantál-oxid közül választott legalább egy fémoxidból van.
A találmány szerinti optikai elem néhány előnyös példaként! kiviteli alakját az alábbi I. táblázatban felsorolt (a)-(c) rétegszerkezetek ismertetésével adjuk meg.
I. táblázat (a) rétegszerkezet
<td> műanyag hordozó</td><td></td><td colspan="2"> törésmutató-tartomány</td>
<td> 1. réteg (SiO? réteg)</td><td> alapréteg</td><td colspan="2"> 1,43 -1,47</td>
<td> 2. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td rowspan="2"> λ/4</td><td> 2,04 - 2,37</td><td rowspan="2"> eredő törésmutató 1,65-1,80</td>
<td> 3. réteg (SiO<sub>2</sub> réteg)</td><td> 1,43-1,47</td>
<td> 4. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td rowspan="3"> λ/2</td><td> 2,04 - 2,37</td><td rowspan="3"> eredő törésmutató 1,85-2,25</td>
<td> 5. réteg (SiO? réteg)</td><td> 1,43-1,47</td>
<td> 6. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td> 2,04 - 2,37</td>
<td> 7. réteg (SiO<sub>2</sub> réteg)</td><td> λ/4</td><td colspan="2"> 1,40-1,47</td>
-7(b) rétegszerkezet
<td> műanyag hordozó</td><td></td><td colspan="2"> törésmutató-tartomány</td>
<td> 1. réteg (S1O2 réteg)</td><td> alapréteg</td><td colspan="2"> 1,43-1,47</td>
<td> 2. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td rowspan="2"> λ/4</td><td> 2,04 - 2,37</td><td rowspan="2"> eredő törésmutató 1,65-1,80</td>
<td> 3. réteg (SÍO2 réteg)</td><td> 1,43-1,47</td>
<td> 4. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td rowspan="5"> λ/2</td><td> 2,04 - 2,37</td><td rowspan="5"> eredő törésmutató 1,85-2,25</td>
<td> 5. réteg (SÍO2 réteg)</td><td> 1,43-1,47</td>
<td> 6. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td> 2,04 - 2,37</td>
<td> 7. réteg (S1O2 réteg)</td><td> 1,43-1,47</td>
<td> 8. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td> 2,04-2,37</td>
<td> 9. réteg (S1O2 réteg)</td><td> λ/4</td><td colspan="2"> _____1,43-1,47</td>
(c) rétegszerkezet
<td> műanyag hordozó</td><td></td><td colspan="2"> törésmutató-tartomány</td>
<td> 1. réteg (fémes nióbium réteg)</td><td> alapréteg rétegvastagsága 0,005λ-0,015λ</td><td colspan="2"> 1,40 -1,47</td>
<td> 2. réteg (SÍO2 réteg)</td><td rowspan="3"> λ/4</td><td> 1,43-1,47</td><td rowspan="3"> eredő törésmutató 1,65-1,80</td>
<td> 3. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td> 2,04 - 2,37</td>
<td> 4. réteg (SÍO2 réteg)</td><td> 1,43-1,47</td>
<td> 5. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td rowspan="3"> λ/2</td><td> 2,04 - 2,37</td><td rowspan="3"> eredő törésmutató 1,85-2,25</td>
<td> 6. réteg (SÍO2 réteg)</td><td> 1,43 - 1,47</td>
<td> 7. réteg (erősen visszaverő réteg)</td><td> 2,04 - 2,37</td>
<td> 8. réteg (SÍO2 réteg)</td><td> λ/4</td><td colspan="2"> 1,43-1,47</td>
A találmányt a továbbiakban példákhoz kapcsolódóan kívánjuk részletesebben ismertetni. Az alábbiakban ismertetendő példák az igényelt oltalmi kört mindazonáltal nem korlátozzák.
PÉLDÁK
Az alábbi 1-6. példákban szereplő, találmány szerinti optikai elemek fizikai tulajdonságait az alábbiakban részletezett vizsgálati módszerekkel határoztuk meg.
(1) Fénváteresztő képesség
Egy U-3410 típusú, Hitachi Ltd. cég által gyártott spektrofotométert használva mintaként egy mindkét felületén fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott műanyag lencse Y fényáteresztő képességét mértük meg.
(2) Fényvisszaverő képesség
Egy U-3410 típusú, Hitachi Ltd. cég által gyártott spektrofotométert használva mintaként egy mindkét oldalán fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott műanyag lencse Z fényvisszaverő képességét mértük meg.
(3) Tapadóképesséq
Műanyag lencse felületét forgácsolószerszámmal megmunkálva a lencse felületén szám szerint 100 darab, egyenként 1 mm x 1 mm nagyságú harántvágást alakítottunk ki. A harántvágásokkal ellátott területre ezt követően cellux ragasztószalagot ragasztottunk, amit ezután egyetlen rántással letéptünk. Megszámoltuk a megmaradt harántvágásokat, ezek számát az alábbi táblázatokban tüntettük fel. A táblázatokban a megmaradt harántvágások száma/100 méri a tapadóképességet.
(4) Karcállósáq
Műanyag lencse felületét 1 kgf/cm<sup>2</sup> nagyságú terhelést alkalmazva acélforgáccsal dörzsöltük. Szám szerint 20 koptatási ciklust követően a műanyag lencse felületének állapotát egy ötfokozatú skálán értékeltük, ahol az egyes besorolások jelentése a következő: UA - kevéssé karcolódott.
A - néhány vékony karcolási nyom figyelhető meg.
B - számos vékony és néhány vastag karcolási nyom figyelhető meg.
C - számos vékony és vastag karcolási nyom figyelhető meg.
D - majdnem teljesen összekarcolódott.
(5) Hőállósáq
Műanyag lencsét 1 órán keresztül sütőben melegítettünk és leolvastuk a törése pillanatában fennálló hőmérsékletet. Speciálisan, az említett műanyag lencsét először 50°C hőmérsékleten melegítettük, majd a hőmérsékletet 5°C-os lépésenként növeltük és a műanyag lencse törése pillanatában fennálló hőmérsékletet leolvastuk.
(6) Alkáliállósáq
Műanyag lencsét 1 óra időtartamra 10%-os NaOH oldatba merítettünk, majd a lencse felületének állapotát ötfokozatú skálán értékeltük, ahol az egyes besorolások jelentése a következő:
-9UA - a felület alig változott.
A - a felületen néhány lehámlott pötty figyelhető meg.
B - a felület teljes egészén számos lehámlott pötty figyelhető meg.
C - a felület bármelyik részén számos lehámlott pötty figyelhető meg, illetve a felületen néhány lehámlott négyzet is található.
D - a bevonat majdnem teljes lehámlása figyelhető meg.
(7) Ütőszilárdsáq
Közepén 2,0 mm vastagságú és 0,00 fényerejű műanyag lencsét állítottunk elő, amit egy, az FDA által rögzített ejtettgolyós vizsgálatnak vetettünk alá. Az értékelésnél O jelöli a jó mintákat, míg X jelöli a nem megfelelő és ezért elutasított mintákat.
1-6. PÉLDÁK
A hordozó és kemény bevonó A réteg előállítása
Szerves szilíciumvegyületként 90 tömegrész kolloidális szilícium-dioxidot (Snowtex-40-et, amely beszerezhető a Nissan Chemical Industries, Ltd. cégtől), 81,6 tömegrész metil-trimetoxi-szilánt, valamint 176 tömegrész γ-glicid-oxipropiltrimetoxi-szilánt, valamint 2,0 tömegrész 0,5N hidrogén-kloridot, 20 tömegrész ecetsavat, továbbá 90 tömegrész vizet üvegedénybe adagoltunk, majd az oldatot szobahőmérsékleten 8 órán át kevertük. Az így nyert oldatot ezt követően szobahőmérsékleten 16 órán keresztül állni hagytuk, hogy ezáltal egy hidrolizált oldatot kapjunk. Ezen oldathoz ezután 120 tömegrész izopropil-alkoholt, 120 tömegrész n-butilalkoholt, 16 tömegrész alumínium-acetil-acetont, 0,2 tömegrész szilikon felületaktív anyagot, valamint 0,1 tömegrész UV abszorbenst adtunk, majd a keveréket szobahőmérsékleten 8 órán át kevertük, végül bevonóoldat létrehozása céljából szobahőmérsékleten 24 órán keresztül öregítettük.
Vizes lúgos oldattal előkezelt (dietilén-glikol-bisz-allil-karbonátból készített, 1,50 törésmutatóval rendelkező, 2,0 mm középponti vastagságú és 0,00 fényerejű) müanyaglencse hordozót (amelyre a továbbiakban A hordozóként fogunk utalni) a bevonóoldatba áztattunk. Az áztatás befejezését követően a műanyag lencsét a bevonóoldatból 20 cm/perc kiemelési sebességgel eltávolítottuk, majd 120°C hőmérsékleten 2 órán keresztül melegítettük, miáltal egy kikeményített réteget alakítottunk ki. Az így nyert műanyag lencsét ezt követően argon gázos, io
-10nok által segített folyamatnak megfelelően ionágyús kezelésnek vetettük alá az 1-6. táblázatokban feltüntetett gyorsítófeszültség és besugárzási idő mellett, miáltal az A hordozót kikeményített kemény bevonóréteggel (melyre a továbbiakban az A rétegként fogunk utalni) láttuk el.
Alapréteg és fényvisszaverődés-gátló bevonat létrehozása
Az előzőeket követően a kemény bevonó A rétegen egy, az 1-3. táblázatokban bemutatott 1-8. sorszámú rétegekből álló bevonatot alakítottuk ki ionok segítette folyamatnak megfelelően az 1-3. táblázatokban megtalálható paraméterek mellett, melynek eredményeként műanyag lencséket kaptunk. A továbbiakban a műanyag lencséket az előzőekben ismertetett (1)-(7) vizsgálati módszereknek megfelelően kiértékeltük, eredményeinket az 1-6. táblázatokban foglaltuk össze. A szóban forgó táblázatokban λ az alkalmazott fény hullámhosszát jelöli, és λ = 500 nm. Az 1-6. példák λ/4- és λ/2-rétegeinek eredő törésmutatóit a 8. táblázatban foglaltuk össze.
<td rowspan="10"> -11 _______________________________________________________________1. táblázat ________________</td><td rowspan="4"> _____________ 2. példa I</td><td rowspan="4"> dietilén-glikol-bisz-allil-karbonát (A hordozó)</td><td rowspan="4"> _________ A réteg</td><td rowspan="4"> 150V</td><td rowspan="4"> < E o o</td><td rowspan="4"> s 09</td><td rowspan="4"> I Ar</td><td> '(D E cp φ Q. Iö</td><td> E c Q</td><td> 160 mA</td><td> 105 mA</td><td> 160 mA</td><td> 105 mA</td><td> < E o CD</td><td> 105 mA</td><td> 160 mA</td><td rowspan="4"> Nb és SiO<sub>2</sub> esetén Ar gáz TiO<sub>2</sub> esetén 0<sub>2</sub> és Ar 1:1 arányú keveréke</td><td rowspan="10"> ____________________________________ az eredményül kapott műanyaglencse értékelése tulajdonságai alapján</td><td rowspan="4"> 0,82 %</td><td rowspan="4"> % 0 66</td><td rowspan="4"> _________________ OOl/OOI·_________</td><td rowspan="4"> ________________v-vn________________</td><td rowspan="4"> o o O O r—</td><td rowspan="4"> _________________0________ __v-vn________________</td>
<td> '05 0) _Q O O) '05 C o</td><td> 150 V</td><td> 450 V</td><td> 360 V</td><td> 450 V</td><td> o co co</td><td> 450 V</td><td> o CD CO</td><td> 450 V</td>
<td> rétegvastagság</td><td> 0,008 λ</td><td> 0,044 λ</td><td> 0,058 λ</td><td> 0,097 λ</td><td> 0,196 λ</td><td> 0,047 λ</td><td> 0,176 λ</td><td> 0,260 λ</td>
<td> réteg típusa</td><td> _Q</td><td> CXI Ο ώ</td><td> eq Q</td><td> cxi Q to</td><td> CM O</td><td> cxi Q co</td><td> CXI Q i—</td><td> CXI Q to</td>
<td rowspan="4"> 1. példa</td><td rowspan="4"> dietilén-glikol-bisz-allil-karbonát (A hordozó)</td><td rowspan="4"> A réteg</td><td rowspan="4"> 150 V</td><td rowspan="4"> VUJQOI. I</td><td rowspan="4"> CO o CD</td><td rowspan="4"> <</td><td rowspan="2"> ionágyú beállított paraméterei</td><td> < E o o V“</td><td> 160 mA</td><td> 105 mA</td><td> < E o CD</td><td> 105 mA</td><td> 160 mA</td><td> 105 mA</td><td> < E o CD</td><td rowspan="4"> Nb és SiO<sub>2</sub> esetén Ar gáz TiO<sub>2</sub> esetén 0<sub>2</sub> és Ar 1:1 arányú keveréke</td><td rowspan="4"> 0,68 %</td><td rowspan="4"> 99,3 %</td><td rowspan="4"> 100/100</td><td rowspan="4"> ____ V-VA</td><td rowspan="4"> o o O O ▼“</td><td rowspan="4"> UA-A 0</td>
<td> | 150 V</td><td> 450V</td><td> 360 V</td><td> 450 V</td><td> 360 V</td><td> 450 V</td><td> 360 V</td><td> 450 V</td>
<td> rétegvastagság</td><td> | 0,008 λ</td><td> LG Ο o’</td><td> 0,0567 λ</td><td> 0,098 λ</td><td> 0,2329 λ</td><td> 0,0218 λ</td><td> 0,2215 λ</td><td> 0,2509 λ</td>
<td> réteg típusa</td><td></td><td> cm Q to</td><td> CXI D</td><td> CXI Q to</td><td> TiO<sub>2</sub></td><td> CXI Q to</td><td> CXI D</td><td> cxi O to</td>
<td rowspan="2"></td><td rowspan="2"> műanyaglencse hordozója</td><td rowspan="2"> kemény bevonóréteg</td><td rowspan="2"> előkezelésnél alkalmazott ionok gyorsítófeszültsége</td><td rowspan="2"> áramerősség</td><td rowspan="2"> besugárzási idő</td><td rowspan="2"> alkalmazott gáz típusa</td><td rowspan="2"></td><td> alapréteg</td><td colspan="3"> 3</td><td colspan="3"></td><td> 5</td><td rowspan="2"> az ionokkal segített folyamatban alkalmazott gáz típusa</td><td rowspan="2"> Y fényvisszaverő képesség (%)</td><td rowspan="2"> L fenyatereszto képesség (%)</td><td rowspan="2"> tapadokepesség</td><td rowspan="2"> karcallösag</td><td rowspan="2"> hoalloság</td><td rowspan="2"> alkaiiallosag ____________ ütőszilárdság</td>
<td> 1. rétég</td><td> z. reteg</td><td> ő. reteg</td><td> 4. reteg</td><td> □. reteg</td><td> CD υ D D</td><td> CD CD 5</td><td> ο. reteg |</td>
<td rowspan="3"></td><td rowspan="3"> 4. példa I</td><td rowspan="3"> dietilén-glikol-bisz-allil-karbonát (A hordozó)</td><td rowspan="3"> A réteg</td><td rowspan="3"> 150 V</td><td rowspan="3"> 100mA</td><td rowspan="3"> _____________________ <sup>s</sup> 09___________</td><td rowspan="3"> Ar</td><td rowspan="2"> ionágyú beállított paraméterei</td><td> I 100mA</td><td> 160 mA</td><td> 120 mA</td><td> 160 mA</td><td> < E o Oxl X<sup>-</sup></td><td> 160 mA</td><td> 120 mA</td><td> 160 mA</td><td rowspan="3"> ----------—--1—_________________1__________________ Nb és S1O2 esetén Ar gáz</td><td rowspan="3"> esetén O2 és Ar 9:1 arányú keveréke</td><td rowspan="3"> c</td><td rowspan="3"> sO 0<sup>s</sup>* O CO Ο</td><td rowspan="3"> 99,1 %</td><td rowspan="3"> Ο ο δ ο χ—</td><td rowspan="3"> ___νη________</td><td rowspan="3"> Ο Ο m ο</td><td rowspan="3"> UA</td><td rowspan="3"> Ο</td>
<td> o m χ-</td><td> o m xr</td><td> o Cxi</td><td> o m st</td><td> o CXI</td><td> o m xf</td><td> o CM M</td><td> o in</td>
<td> rétegvastagság</td><td> 0,008 λ</td><td> 0,0209 λ</td><td> 0,052 λ</td><td> xt co o o'</td><td> o co oo o’</td><td> 0,0484 λ</td><td> 0,1820 λ</td><td> 0,2681 λ</td>
<td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td> réteg típusa</td><td> -Ω</td><td> CM o ώ</td><td> m O Oxl H</td><td> CM Q ώ</td><td> IO o CM π H</td><td> CM o ώ</td><td> in O CXI</td><td> CM o GO</td><td></td><td> 10 O CM φ H</td><td> donságai alapjá</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td> αΓ</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td> 12íblázat</td><td></td><td> Φ</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td> lított párámé rei</td><td> < E o o</td><td> 160 mA</td><td> < E o Oxl X<sup>-</sup></td><td> 160 mA</td><td> 120 mA</td><td> < E o co</td><td> < E o Oxl</td><td> 160 mA</td><td></td><td> keveréke</td><td rowspan="2"> o Φ ω Φ Φ -Φ Φ</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td> I 43</td><td></td><td> c ο</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td> -φ o’</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td> N</td><td> 0</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td> cm</td><td> CD τ ‘φ ο.</td><td> CD 1 3Ü N IM £ w P</td><td> σ> φ E</td><td> o LO</td><td> < E o</td><td> ω o</td><td> U<</td><td> ionágyú bí</td><td> o m x—</td><td> Ο in xr</td><td> o CM</td><td> o in</td><td> o Oxl xf</td><td> O in</td><td> O Oxl</td><td> o tn Xt</td><td> esetén Ar g;</td><td> (UEJB L6 JV</td><td> űanyaglencs</td><td> sP 0*· Ο 00</td><td> >ρ ci**</td><td> Ο Ο χ-</td><td> ο</td><td> ο ο ιη</td><td> <</td><td> Ο</td>
<td></td><td> co</td><td> h CD c >φ Φ τι</td><td> <</td><td> T““</td><td> o T““</td><td></td><td></td><td> rétegvastagság</td><td> 00 o o o</td><td> 0,0292 λ</td><td> 0,0189 λ</td><td> 0,5840 λ</td><td> 0,1336 λ</td><td> 0,0593 λ</td><td> 0,2498 λ</td><td> 0,2623 λ</td><td> Nb és S1O2</td><td> 5 esetén O2 és</td><td> lényül kapott m</td><td> o'</td><td> σ> σ></td><td> ο</td><td></td><td> Ο)</td><td></td><td></td>
<td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td> réteg típusa</td><td> jQ</td><td> CM o ώ</td><td> in O Oxl H</td><td> CM o ώ</td><td> tn O Oxl H</td><td> CM Q ώ</td><td> IO O CM π 1-</td><td> CM o ώ</td><td></td><td> O CM Φ</td><td> az eredm</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td></td><td></td><td> φ S N O 13</td><td rowspan="2"> kemény bevonóréteg</td><td> mázott ionok gyor-</td><td></td><td></td><td> CD (/) :□</td><td></td><td> alapréteg</td><td colspan="3"> 3</td><td colspan="3"> Oxl</td><td> s</td><td colspan="2"> t folyamatban ala</td><td></td><td rowspan="2"> Υ fényvisszaverő képesség (%)</td><td> iesség (%)</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td></td><td></td><td> műanyaglencse hoi</td><td> előkezelésnél alkali sítófeszültsége</td><td> áramerősség</td><td><sup>:</sup>O τ ω ‘CO ν ‘CO Ο) ω Φ Xi</td><td> alkalmazott gáz tij</td><td></td><td> 1. rétég</td><td> CD Φ Φ XI</td><td> CD Φ Φ L— Ώ</td><td> CD φ Φ L—</td><td> O) Φ Φ n</td><td> CD Φ Φ u. b</td><td> CD Φ</td><td> CD Φ Φ L- 20</td><td colspan="2"> Aa ionokkal segített kalmazott gáz típus</td><td></td><td> u. 'φ Ο Ν ω 2 φ 'φ >» C ?φ Ν</td><td> CD Φ (Λ ω Φ ο. φ ο τ co ο. CD</td><td> CD Φ ω ο φ 2 φ 2^</td><td> hoallósag</td><td> aikáiiaiiosag</td><td> CD Φ ω Ε φ Ν ω ο 3</td>
3. táblázat
<td rowspan="4"> ___ 6. példa 1</td><td rowspan="4"> dietilén-glikol-bisz-allil-karbonát ___________ (A hordozó)</td><td rowspan="4"> _______ A réteg</td><td rowspan="4"> 150 V</td><td rowspan="4"> E o o T”</td><td rowspan="4"> ________ 40 s</td><td rowspan="4"> L Ar</td><td rowspan="2"> ionágyú beállított paraméterei</td><td> < E o o</td><td> 160 mA</td><td> 105 mA</td><td> < E o co T““</td><td> 105 mA</td><td> 160 mA</td><td> 105 mA</td><td> 160 mA</td><td rowspan="4"><sup>1 -</sup>----.-------------------------------------------------------------------I________________________________________________________________________________________________________________________________________ Nb és S1O2 esetén Ar gáz Nb20s esetén O2 és Ar 9:1 arányú keveréke</td><td rowspan="8"> az eredményül kapott műanyaglencse értékelése tulajdonságai alapján</td><td rowspan="4"> ____ 0,68 %</td><td rowspan="4"> ____ 99,3 %</td><td rowspan="2"> 0 0</td><td rowspan="4"> ν-νη</td><td rowspan="4"> Ο ο Ο Ο τ<sup>-</sup></td><td rowspan="4"> UA-A</td><td rowspan="4"> Ο</td>
<td> o in</td><td> o in</td><td> o CD CO</td><td> o in Xt</td><td> o co co</td><td> o in XT</td><td> o co co</td><td> o in</td>
<td> rétegvastagság</td><td> 0,008 λ</td><td> 0,0209 λ</td><td> 0,0527 λ</td><td> co o O~</td><td> o co co o</td><td> 0,0484 λ</td><td> o CM co o’</td><td> co co CM o’</td><td rowspan="2"> 0 0 T“~</td>
<td> réteg típusa</td><td> _Q</td><td> CM o ώ</td><td> η Ο CM -Q 2</td><td> CM o ώ</td><td> m O CM 2D Z</td><td> CM o ώ</td><td> in O CM 23 Z</td><td> CM O ώ</td>
<td rowspan="4"> 5. példa</td><td rowspan="4"> dietilén-glikol-bisz-allil-karbonát (A hordozó)</td><td rowspan="4"> A réteg</td><td rowspan="4"> o m</td><td rowspan="4"> | 100mA</td><td rowspan="4"> cd o cd</td><td rowspan="4"> <</td><td rowspan="2"> ionágyú beállított paraméterei</td><td> < E o o T<sup>-</sup></td><td> < E o Cű</td><td> 105 mA</td><td> E o CD V</td><td> 105 mA</td><td> 160 mA</td><td> < E in o —</td><td> 160 mA</td><td rowspan="4"> Nb és S1O2 esetén Ar gáz Nb2Ü5 esetén O2 és Ar 9:1 arányú keveréke</td><td rowspan="4"> vP 0<sup>s</sup>· 00 CD θ’</td><td rowspan="4"> 0<sup>s</sup> CO CD CD</td><td rowspan="4"> Ο Ο δ ο</td><td rowspan="4"> < < Ξ9</td><td rowspan="4"> ο ο Ο Ο Τ““</td><td rowspan="4"> < <</td><td rowspan="4"> Ο</td>
<td> o m</td><td> o n</td><td> o co co</td><td> o in</td><td> o co co</td><td> o in M-</td><td> o co co</td><td> o in</td>
<td> rétegvastagság</td><td> co o o o'</td><td> 0,0209 λ</td><td> 0,0527 λ</td><td> 0,1084 λ</td><td> o co co o'</td><td> 0,0484 λ</td><td> 0,1820 λ</td><td> 0,2681 λ</td>
<td> réteg típusa</td><td></td><td> CM Q ώ</td><td> m O CXI _Q</td><td> CM Q ώ</td><td> IO O CM 2D z</td><td> CM o ω</td><td> in O CM _Q</td><td> CM o co</td>
<td rowspan="2"></td><td rowspan="2"> müanyaglencse hordozója</td><td rowspan="2"> kemény bevonóréteg</td><td rowspan="2"> előkezelésnél alkalmazott ionok gyorsítófeszültsége</td><td rowspan="2"> áramerősség</td><td rowspan="2"> besugárzási idő</td><td rowspan="2"> alkalmazott gáz típusa</td><td rowspan="2"></td><td> alapréteg</td><td colspan="3"> 1</td><td colspan="3"> CM</td><td> V</td><td rowspan="2"> az ionokkal segített folyamatban alkalmazott gáz típusa</td><td rowspan="2"></td><td rowspan="2"> Y fényvisszaverő képesség (%)</td><td rowspan="2"> Z fenyateresztő képesség (%)</td><td rowspan="2"> tapadokepesség</td><td rowspan="2"> karcallosag</td><td rowspan="2"> hoallosag</td><td rowspan="2"> alkaliallosag</td><td rowspan="2"> I utosziiardsag |</td>
<td> 1 · rétég</td><td> CD Φ φ l— M</td><td> cd φ φ O</td><td> CD Φ Φ</td><td> CD Φ Φ 1— n</td><td> CD Φ E o</td><td> CD Φ Φ</td><td> CD Φ Φ l_ DO</td>
-147-24. PÉLDÁK ÉS ÖSSZEHASONLÍTÓ 1-6. PÉLDÁK
A 7-24. példákban, valamint az összehasonlító 1-6. példákban készített találmány szerinti optikai elemek fizikai tulajdonságait az alábbiakban részletezett vizsgálati módszerekkel határoztuk meg.
(1) Gőzfázisból történő réteqelőállítással nyert réteqszerkezet olvadékállapota
Az olvadékállapotot az alábbi skála alapján értékeltük:
UA- nem fröccsen;
A - kissé fröccsen;
B - sűrűn fröccsen;
C - egyfolytában fröccsen.
(2) Finom szemcsék felületre tapadása
A lencse felületére fröccsenéssel odakerült finom szemcsék odatapadását egy négyfokozatú skálán értékeltük, ahol az egyes besorolások jelentése a következő:
UA - finom szemcsék nincsenek jelen;
A - finom szemcsék 1-5 folton vannak jelen;
B - finom szemcsék 6-10 folton vannak jelen;
C-finom szemcsék legalább 11 folton vannak jelen.
(3) Alkáliállósáq-vizsqálat
Műanyag lencsét vizes 10%-os NaOH oldatba áztattunk. Ezt követően 30 perc, illetve 60 perc elteltével a lencsét megvizsgáltuk egyrészt abból a szempontból, hogy a bevonat lemállott-e, másrészt abból a szempontból, hogy a lencse felülete érdessé vált-e. A műanyag lencsét e két szempont alapján ötfokozatú skálán értékeltük, ahol az egyes besorolások jelentése a következő:
UA - néhány lemállott folt figyelhető meg;
A - a lencse teljes felületén apró, legfeljebb 0,1 mm méretű lemállott foltok, vagy csupán néhány közel 0,3 mm átmérőjű lemállott folt figyelhető meg;
B - a lemállott foltok sűrűsége az A kategóriához képest nagyobb, továbbá a nagyobb méretű lemállott foltok aránya az A kategóriánál megfigyelthez képest nagyobb;
C - a lencse felületén mindenütt közel 0,3 mm méretű lemállott foltok figyelhetők meg, vagy az apró lemállott foltok sűrűsége rendkívül nagy;
-15D - a lencse felületén mindenhol lemállott foltok figyelhetők meg, és a felszín fehérnek tűnik, az összes fenti kategóriáknál silányabb minta ugyancsak ebbe a kategóriába tartozik.
(4) Karcállósáqi teszt
Műanyag lencse felületét #0000 minőségű acélforgáccsal dörzsöltük. 10 dörzsölési folyamatot követően a műanyag lencse felületének állapotát egy négyfokozatú skálán értékeltük, ahol az egyes besorolások jelentése a következő: UA - csak kicsit karcolódott;
A - enyhén karcolódott;
B - erősen karcolódott;
C - a bevonat feldomborodott.
(5) Tapadóképesséqi vizsgálat
A JIS-Z-1522 sz. szabvány szerint műanyag lencse felületét 10 x 10 harántvágással láttuk el, és cellux ragasztószalaggal harántirányú lehúzás céljából háromszor vizsgáltuk. A cellux eltávolítását követően megmaradt harántirányú vágásokat leszámoltuk.
(6) Fényvisszaverő képesség
Egy Hitachi Ltd. cég által gyártott, U-3410 sz. spektrofotométert alkalmazva megmértük a műanyag lencse Y fényvisszaverő képességét.
(7) Fényáteresztő képesség
Egy Hitachi Ltd. cég által gyártott, U-3410 sz. spektrofotométert alkalmazva megmértük a műanyag lencse Z fényáteresztő képességét.
(8) Abszorpcióképesség
Műanyag lencse abszorpcióképességét határoztuk meg oly módon, hogy 100%-ból levontuk az Y fényvisszaverő képesség és a Z fényáteresztő képesség %-ban kifejezett értékét.
(9) Hőállósági teszt
Fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elemet közvetlenül a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert bevonat létrehozását követően sütőben 1 órán keresztül melegítettünk, majd megvizsgáltuk, hogy megrepedezett-e. A szóban forgó optikai elemet speciálisan először 50°C hőmérsékleten melegítettük,
-16majd a hőmérsékletet 5°C-os lépésenként növeltük, és leolvastuk azon hőmérséklet értékét, amelynél az optikai elemen repedések jelentek meg.
A hőállósági teszt eredménye időtől függésének vizsgálata céljából fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elemet a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert bevonat létrehozását követően 2 hónapig levegő hatásának tettünk ki, majd ezt követően a fenti hőállósági tesztnek vetettünk alá.
A hordozó és kemény bevonó A réteg előállítása
Az 1-6. példákban ismertetetthez hasonló módon A hordozót és kemény bevonó A réteget állítottunk elő.
B hordozó és kemény bevonó B réteg előállítása
Szerves szilícium vegyületből, nevezetesen γ-glicid-oxipropil-trimetoxiszilánból 142 tömegrészt üvegedénybe adagoltunk, majd ehhez keverés mellett cseppenként 1,4 tömegrész 0,01 N hidrogén-kloridot és 32 tömegrész vizet adtunk. A hozzáadás befejezését követően hidrolizált γ-glicid-oxipropil-trimetoxi-szilán oldat előállítása céljából a keveréket 24 órán át kevertük. Az így nyert oldathoz (metanolban diszpergált, 31,5 tömeg% teljes fémoxid tartalmú és 10-15x10’<sup>13</sup> m átlagos szemcsemérettel rendelkező) ón(IV)-oxid és cirkónium-oxid 460 tömegrész kompozit szolját, továbbá 300 tömegrész etil-celloszolvot, 0,7 tömegrész síkosító adalékot, szilikon felületaktív anyagot, továbbá 8 tömegrész öregítő adalékot, nevezetesen alumínium-acetil-acetonátot adtunk. Miután az egészet alaposan összekevertük, a keveréket bevonóoldat előállítása céljából leszűrtük.
Ezt követően a bevonóoldatba vizes lúgos oldatban előkezelt műanyaglencse hordozót (szemüveg előállítására szolgáló, a Hoya Corporation cég által EYAS kereskedelmi néven forgalmazott, legfeljebb 1,60 törésmutatóval rendelkező műanyag lencsét, amelyre a következőkben B hordozóként fogunk hivatkozni) áztattunk. Az áztatást befejeztével a műanyag lencsét a bevonóoldatból 20 cm/perc kiemelési sebességgel eltávolítottuk, majd egy kemény bevonóréteg (a továbbiakban erre B rétegként utalunk majd) kialakítása céljából 2 órán keresztül 120°C hőmérsékleten melegítettük.
C hordozó és kemény bevonó C réteg előállítása
Szerves szilícium vegyületből, γ-glicid-oxipropil-trimetoxi-szilánból 100 tömegrészt üvegedénybe adagoltunk, ehhez keverés mellett 1,4 tömegrész 0,01 N hidrogén-kloridot és 23 tömegrész vizet adtunk. A hozzáadást követően a keveréket hidrolizált γ-glicid-oxipropil-trimetoxi-szilán oldat előállítása céljából 24 órán át kevertük. Ezt követően 200 tömegrész szervetlen szemcsés anyagot, döntően titán-oxidból, cirkónium-oxidból és szilícium-oxidból álló (metanolban diszpergált, összességében 20 tömeg% szilárd anyagot tartalmazó, 5-15x10’<sup>13</sup> m átlagos szemcsemérettel rendelkező) szemcsék (melyeknél a finom szemcsemagokban a Ti/Si atomszámarány 10, és ahol a köpeny/mag tömegarány 0,25) kompozit szolját 100 tömegrész etil-celluszolvval, 0,5 tömegrész síkosító adalékkal, szilikon felületaktív anyaggal, továbbá 3,0 tömegrész öregítö adalékkal, nevezetesen alumínium-acetil-acetonáttal elegyítettünk. Az így nyert keveréket a hidrolizált γ-glicidoxipropil-trimetoxi-szilán oldathoz adtuk és az egészet alaposan összekevertük, majd bevonóoldat előállítása céljából a keveréket szűrésnek vetettük alá.
Ezt követően (szemüveggyártásnál használatos, a Hoya Corporation cég által TESLÁID kereskedelmi néven forgalmazott, 1,71 törésmutatóval rendelkező) műanyaglencse hordozót (melyre a továbbiakban C hordozóként fogunk hivatkozni) áztattunk a bevonóoldatba. A beáztatást megelőzően a müanyaglencse hordozót vizes lúgos oldattal előkezeltük. Az áztatás befejezését követően a műanyag lencsét a bevonóoldatból 20 cm/perc kihúzási sebességgel távolítottuk el, majd egy kemény bevonóréteg (a továbbiakban erre C rétegként fogunk hivatkozni) kialakítása céljából 2 órán át 120°C hőmérsékleten melegítettük.
Alapréteg és fényvisszaverődés-gátló bevonat előállítása
A továbbiakban a 4-7. táblázatokban feltüntetett folyamatparaméterek fennállása mellett a kemény bevonó A, B vagy C rétegen a 4-7. táblázatokban ismertetett többrétegű bevonatokat hoztuk létre. Ezáltal műanyag lencséket nyertünk.
A műanyag lencséket a fentiekben ismertetett (1)-(9) vizsgálati módszereknek megfelelően értékeltük ki, eredményeinket a 4-7. táblázatokban foglaltuk össze, ahol λ az alkalmazott fény hullámhossza, jelen esetben λ = 500 nm.
-18A 7-12. példák esetén a táblázatokban feltüntetett A összetételt nem ionok által segített folyamattal állítottuk elő. A 13-18. példák esetén az A összetételből készített réteget, továbbá a 19-24. példákban szereplő nióbium-oxid réteget olyan ionok által segített folyamatnak megfelelően állítottuk elő, amelynél az oxigén/argon arány 9:1 volt, továbbá az ionágyú paraméterei 320 V és 140 mA voltak. A 25-27. példák esetén az erősen visszaverő anyagként titán-oxidot használtunk, ennek rétegét nem ionok által segített folyamattal nyertük.
A 4. és 5. táblázatban szereplő 7-18. példák esetén alkalmazott A összetétel egy háromkomponensű, gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert film, amelyet Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub> por, ZrO<sub>2</sub> por és Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> por összekeverésével, majd ezt követően a keveréknek 1300°C hőmérsékleten 300 kg/cm<sup>2</sup> nyomáson történő szinterelésével állítottuk elő. A szóban forgó keverékben az Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub> 76-90 tömeg%-ban, a ZrO<sub>2 </sub>16,6-5 tömeg%-ban, míg az Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 7,4-5 tömeg%-ban volt jelen.
Az 1-27. példák esetében a λ/4- és a λ/2-rétegeket képező ekvivalens filmek eredő törésmutatóit a 8. táblázatban foglaltuk össze.
Az összehasonlító 1. és 2. példákban a gőzfázisból történő rétegelőállításnál használt, erősen visszaverő anyagot tantál-oxid képezte. Ezen példáknál az alapréteget szilícium-dioxidból; a λ/4-réteget képező kétrétegű ekvivalens filmet tantál-oxid rétegből és szilícium-dioxid rétegből; a λ/2-réteget tantál-oxidból; míg a második λ/4-réteget szilícium-dioxidból állítottuk elő.
Az összehasonlító 3. példában kemény bevonó C réteget, C hordozót, valamint a gőzfázisból történő rétegelőállítás erősen visszaverő anyagként tantáloxidot használtunk. Ezen példában a 3. sorszámú réteget szilícium-dioxidból; a λ/4-réteget képező kétrétegű ekvivalens filmet tantál-oxid rétegből és szilíciumdioxid rétegből; a λ/2-réteget tantál-oxidból; míg a második λ/4-réteget szilíciumdioxidból állítottuk elő.
Az összehasonlító 4. és 5. példák esetén a gőzfázisból történő rétegelöállításnál alkalmazott, erősen visszaverő anyagként titán-oxidot használtunk. Az említett példák esetében az alapréteget szilícium-dioxidból; a λ/4-réteget képező kétrétegű ekvivalens filmet titán-oxid rétegből és szilícium-dioxid rétegből; a λ/2réteget titán-oxidból; míg a második λ/4-réteget szilícium-dioxidból állítottuk elő.
-19Az összehasonlító 6. példában kemény bevonó C réteget, C hordozót, továbbá a gözfázisból történő rétegelöállításnál erősen visszaverő anyagként titánoxidot használtunk. Ezen példánál a 3. réteget szilícium-dioxidból; a λ/4-réteget képező kétrétegű ekvivalens filmet titán-oxid rétegből és szilícium-dioxid rétegből; a λ/2-réteget titán-oxidból; míg a második λ/4-réteget szilícium-dioxidból állítottuk elő. A szóban forgó összehasonlító 1-6. példákban a filmeket nem ionok által segített folyamattal készítettük.
Az összehasonlító 1., 2. és 3. példákban nyert optikai elemek hőállóságukat tekintve eredményeink szerint rendre gyengébb minőségűek a 22., 23. és 24. példák szerinti optikai elemeknél.
4. táblázat
<td> 1 12. példa 1</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> S1O2 0.1123</td><td> A összetétel 0,0287</td><td> SiO2 0 5762</td><td> A összetétel 0.1035</td><td> SiO2 0.1017</td><td> A összetétel 0.1484</td><td> SÍO2 0.309</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 1.05</td><td> Z86</td><td> 0.25</td><td> 00I-</td><td> 10 OO</td>
<td> 11. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> S1O2 0,6121</td><td> A összetétel 0,0465</td><td> S1O2 0.1004</td><td> A összetétel 0,16</td><td> SÍO2 0,0519</td><td> A összetétel 0,1685</td><td> SÍO2 0.2911</td><td> UA</td><td> vn</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 100</td><td> Γ 1,02</td><td> 98,74</td><td> 0,24</td><td> 110</td><td> 10 σ></td>
<td> 10. példéa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> S1O2 0,801</td><td> A összetétel 0,032</td><td> CN ™ Q ° ώ o</td><td> A összetétel 0,143</td><td> CN S O LO ω §</td><td> A összetétel 0,1603</td><td> S1O2 0,287</td><td> vn</td><td> UA</td><td> UA</td><td> vn</td><td> 100</td><td> OO 0</td><td> σ> o</td><td> C\| o'</td><td> 100</td><td> 10 co</td>
<td> 9. példa</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> S1O2 0,0698</td><td> A összetétel 0,0407</td><td> SÍO2 0,5275</td><td> A összetétel 0,1179</td><td> SÍO2 0,0873</td><td> A összetétel 0,1731</td><td> CN M O CO ω 2-</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 0 0 T—</td><td> 0,92</td><td> 98,9</td><td> 00 0“</td><td> 100</td><td> 10 OO</td>
<td> 8. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> S1O2 0,4568</td><td> A összetétel 0,0549</td><td> SiC>2 0,0671</td><td> A összetétel 0,1194</td><td> S1O2 0,0543</td><td> A összetétel 0,1658</td><td> SÍO2 0,2673</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 0,84</td><td> σ> σ></td><td> CD O</td><td> 110</td><td> 10 σ></td>
<td> 7. példa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> S1O2 0,459</td><td> A összetétel 0,0458</td><td> SÍO2 0,0809</td><td> A összetétel 0,14</td><td> SiO2 0,0597</td><td> A összetétel 0,172</td><td> S1O2 0,2795</td><td> vn</td><td> vn</td><td> vn</td><td> vn</td><td> 100</td><td> 0,84</td><td> 99,01</td><td> 0,15</td><td> 100</td><td> 10 CO</td>
<td></td><td></td><td></td><td> alapréteg</td><td colspan="2"> I λ/4</td><td colspan="3"> λ/2</td><td> λ/4</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td></td><td> műanyaglencse hordozója</td><td> kemény bevonóréteg</td><td> 1. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 2. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 3. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 4. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 5. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 6. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 7. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert összetétel olvadékál- lapota</td><td> a gözfázisból történő rétegelőállítással nyert finom szemcsék tapadása</td><td> alkáliállóság</td><td> karcállóság</td><td> tapadoképesség</td><td> Y fényvisszaverő képesség (%)</td><td> Ζ fenyáteresztő képesség (%)</td><td> abszorpcióképesség, 100-Y-Z (%)</td><td> höállóság (°C)</td><td> hőállóság (°C) 2 hónapon keresztüli, levegőnek való kitételt követően________</td>
5.táblázat
<td> 1 18. példa I</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> CN o § ω o</td><td> A összetétel 0,0424</td><td> 0,5797 0,5762</td><td> A összetétel 0.1013</td><td> SiO2 0.1058</td><td> A összetétel 0.1438</td><td> CN CN O 00 -in 0</td><td> UA</td><td> UA</td><td> vn</td><td> UA</td><td> 100</td><td> CO 0 X<sup>-</sup></td><td> 99 86</td><td> 0.24</td><td> 105</td><td> 0 CD</td>
<td> 17. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> 69990 <sup>2</sup>OIS</td><td> A összetétel 0,0317</td><td> SÍO2 0.0898</td><td> A összetétel 0,1288</td><td> S1O2 0.0816</td><td> A összetétel 0,1487</td><td> SÍO2 0.2888</td><td> vn</td><td> vn</td><td> vn</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 1,02</td><td> 98,75</td><td> 0,23</td><td> 120</td><td> 105</td>
<td> 16. példa</td><td> A hordozó</td><td> ____A réteg</td><td> Q<sup>4</sup> 5 <sup>W</sup> o’</td><td> A összetétel 0,0355</td><td> S1O2 0,1308</td><td> A összetétel 0,1568</td><td> S1O2 0,069</td><td> A összetétel 0,176</td><td> S1O2 0,2763</td><td> UA</td><td> vn</td><td> vn</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 00 o‘</td><td> 99,01</td><td> 0,19</td><td> 105</td><td> 0 CD</td>
<td> 15. példa</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> co CN oo O oo</td><td> A összetétel 0,0446</td><td> S1O2 0,5784</td><td> A összetétel 0,1112</td><td> S1O2 0,0961</td><td> A összetétel 0,1615</td><td> S1O2 0,282</td><td> ____vn</td><td> ____vn</td><td> UA</td><td> ____vn</td><td> 0 0 T—</td><td> 00 0</td><td> CD CD</td><td> 0,19</td><td> 105</td><td> O CD</td>
<td> 14. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> SiO2 0,4156</td><td> A összetétel 0,0118</td><td> S1O2 0,091</td><td> A összetétel 0,0932</td><td> S1O2 0,1036</td><td> A összetétel 0,1362</td><td> S1O2 0,2906</td><td> UA</td><td> vn</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 0 0</td><td> 00 0</td><td> 99,01</td><td> 0,17</td><td> 120</td><td> 105</td>
<td> 13. példa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> S1O2 0,3101</td><td> A összetétel 0,0374</td><td> CN 00 Q ώ o‘</td><td> A összetétel 0,1616</td><td> S1O2 0,0586</td><td> A összetétel 0,1815</td><td> S1O2 0,2668</td><td> vn</td><td> UA</td><td> vn</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 00 o~</td><td> 99,05</td><td> LO θ’</td><td> 105</td><td> 0 σ></td>
<td></td><td></td><td></td><td> alapréteg</td><td colspan="2"> λ/4</td><td colspan="3"> λ/2</td><td> λ/4</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td></td><td> műanyaglencse hordozója</td><td> kemény bevonóréteg</td><td> 1. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 2. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 3. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 4. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 5. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 6. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 7. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> gözfázisból történő rétegelőállítással nyert összetétel olvadékállapota</td><td> a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert finom szemcsék ta- padása</td><td> alkáliállóság</td><td> karcállóság</td><td> tapadóképesség</td><td> Y fényvisszaverő képesség (%)</td><td> Z fényáteresztö képesség (%)</td><td> abszorpcióképesség, 100-Y-Z (%)</td><td> hőállóság (°C)</td><td> höállóság (°C) 2 hónapig tartó, levegőnek való kitételt követően</td>
6. táblázat
<td> I 24. példa I</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> SÍO2 0.074</td><td> Ta2Ü5 0.0504</td><td> CN O C«1 -ω £ c</td><td> in oc <sup>0</sup> c ni E CD I— c</td><td> ni cc O oc -ö -</td><td> in σ ο <sup>σ</sup> ni cc CD I— c</td><td> SiO<sub>2 </sub>0 2773</td><td> UA</td><td> UA</td><td> <</td><td> vn</td><td> 0 0 T—</td><td> in 0 X”</td><td> OC 03</td><td> LO CN O</td><td> s</td><td> 10 00</td>
<td> 23. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> SÍO2 0,4729</td><td> 10 cd O ^<sup>1-</sup> CD °. 1— O</td><td> SÍO2 0,0648</td><td> m cd O ni ™ CD I- O</td><td> SÍO2 0.0266</td><td> m cd O co CM Rí CD I— O</td><td> SiO<sub>2 </sub>0.2588</td><td> UA</td><td> vn</td><td> vn</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 1,02</td><td> 98,74</td><td> 0,24</td><td> 110</td><td> LO 03</td>
<td> 22. példa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> cm£ O 't ” o'</td><td> m cd Ο ™ ni § CD °. 1- O</td><td> CM O g ω o</td><td> Ta<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,1533</td><td> S1O2 0,025</td><td> Ta<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,1533</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,254</td><td> UA</td><td> vn</td><td> vn</td><td> UA</td><td> 0 0 v—</td><td> 66'0</td><td> 98,85</td><td> 0,16</td><td> 100</td><td> LO OO</td>
<td> 21. példa</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> S1O2 0,0886</td><td> Nb<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,0446</td><td> S1O2 0,5784</td><td> in ni O CM -Q Έ. Z 0</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,0961</td><td> Nb<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,1615</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,282</td><td> CŰ</td><td> UA</td><td> _____vn</td><td> UA</td><td> 100</td><td> CO O</td><td> O) 03</td><td> 0,19</td><td> 105</td><td> O 03</td>
<td> 20. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,4156</td><td> in 00 O ^0 Z 0</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,091</td><td> Nb<sub>2</sub>Ű5 0,0932</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,1036</td><td> Nb<sub>2</sub>Os 0,1362</td><td> CD ni 0 Ο σ> ω £</td><td> m</td><td> vn</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 0,84</td><td> 99,01</td><td> 0</td><td> 120</td><td> 105</td>
<td> 19. példa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,3101</td><td> Nb<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,0374</td><td> S1O2 0,113</td><td> Nb<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,1616</td><td> S1O2 0,0586</td><td> Nb<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,1815</td><td> CM§ O CD ö £</td><td> CD</td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td><td> 100</td><td> 0,8</td><td> 99,05</td><td> 0,15</td><td> 105</td><td> 0 o></td>
<td></td><td></td><td></td><td> alapréteg</td><td colspan="2"> 5</td><td colspan="3"> λ/2</td><td> λ/4</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td>
<td></td><td> műanyaglencse hordozója</td><td> kemény bevonóréteg</td><td> 1. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 2. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 3. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 4. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 5. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 6. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> /. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> a gozfázisból történő rétegelőállítással nyert összetétel olvadékál- lapota ---—— ------—-------------1</td><td> a gozfázisból történő rétegelőállítással nyert finom szemcsék ta- padása</td><td> alkaliallosag</td><td> karcalloság</td><td> tapadokepesség</td><td> Y fényvisszaverő képesség (%)</td><td> Z fenyateresztő képeeség (%)</td><td> abszorpcióképesség, 100-Y-Z(%)</td><td> hoállóság (°C)</td><td> hőállóság (°C) 2 hónapig tartó, levegőnek való kitételt követően</td>
-237. táblázat
<td></td><td></td><td> 25. példa</td><td> 26. példa</td><td> 27. példa</td>
<td> műanyaglencse hordozója</td><td></td><td> A hordozó</td><td> B hordozó</td><td> C hordozó</td>
<td> kemény bevonóréteg</td><td></td><td> A réteg</td><td> B réteg</td><td> C réteg</td>
<td> 1. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> alapréteg</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,51</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,421</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,079</td>
<td> 2. réteg rétegvastagság (λ)</td><td rowspan="2"> λ/4</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,0435</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,0224</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,275</td>
<td> 3. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,1089</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,0972</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,5761</td>
<td> 4. réteg rétegvastagság (λ)</td><td rowspan="3"> λ/2</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,1468</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,1327</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,135</td>
<td> 5. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,0689</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,0768</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,102</td>
<td> 6. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,1474</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,1665</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,143</td>
<td> 7. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> λ/4</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,2716</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,291</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,2954</td>
<td> a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert összetétel olvadékállapota</td><td></td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td>
<td> a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert finom szemcsék tapadása</td><td></td><td> UA</td><td> UA</td><td> UA</td>
<td> alkáliállóság</td><td></td><td> UA-A</td><td> UA-A</td><td> UA-A</td>
<td> karcállóság</td><td></td><td> A</td><td> A</td><td> A</td>
<td> tapadóképesség</td><td></td><td> 100</td><td> 100</td><td> 100</td>
<td> Y fényvisszaverő képesség(%)</td><td></td><td> 0,84</td><td> 0,081</td><td> 0,81</td>
<td> Z fényáteresztő képesség (%)</td><td></td><td> 99</td><td> 99,02</td><td> 99</td>
<td> abszorpcióképesség, 100-Y-Z(%)</td><td></td><td> 0,16</td><td> 0,17</td><td> 0,19</td>
<td> hőállóság (°C)</td><td></td><td> 90</td><td> 110</td><td> 95</td>
<td> hőállóság (°C) 2 hónapon keresztüli, levegőnek való kitételt követően</td><td></td><td> 70</td><td> 90</td><td> 75</td>
______________________________________________ 8. táblázat ________________________________ __1. példa__2. példa__3. példa__4. példa__5. példa 6. példa λ/4-réteg__1,75 - 1,80__1,70 - 1,75__1,65 -1,70__1,65 - 1,70 1,70- 1,75 1,70- 1,75 o
<N
LO O
CM
CM
<td> 12. példa I</td><td> 1,65-1,70</td><td> 2,0-2,05</td>
<td> 11. példa</td><td> 1,70-1,75</td><td> 2,05-2,10</td>
<td> ______10. példa</td><td> 1,67-1,72</td><td> 2,05-2,10</td>
<td> 9. példa</td><td> 1,65-1,70</td><td> 2,0-2,05</td>
<td> 8. példa</td><td> 1,70-1,75</td><td> 2,05-2,10</td>
<td> 7. példa 7</td><td> 1,70-1,75</td><td> 2,05-2,10</td>
<td></td><td> λ/4-réteg</td><td> | λ/2-réteg</td>
<td> 18. példa I</td><td> 1,65-1,70</td><td> 2,05-2,10</td>
<td> 17. példa</td><td> 1,72-1,77</td><td> 2,0-2,05</td>
<td> 16. példa</td><td> 1,72-1,77</td><td> 2,05-2,10</td>
<td> 15. példa</td><td> 1,65-1,70</td><td> 2,05-2,10</td>
<td> 14. példa</td><td> 1,65-1,70</td><td> 2,0-2,05</td>
<td> 13. példa</td><td> 1,70-1,75</td><td> 2,05-2,10</td>
<td></td><td> λ/4-réteg</td><td> I λ/2-réteg</td>
<td> CD TJ</td><td> O</td><td> o</td>
<td> <1)</td><td> V*</td><td> T~</td>
<td> Q</td><td> 1 m</td><td> m</td>
<td> V</td><td> co</td><td> 00</td>
<td> CM</td><td></td><td></td>
<td></td><td> m</td><td> m</td>
<td> CD</td><td></td><td> cd_</td>
<td> (1)</td><td></td><td> v-</td>
<td> Q.</td><td> O</td><td> O</td>
<td> có</td><td> I<sup>s</sup>*.</td><td> CD</td>
<td></td><td></td><td> V”</td>
<td> cd</td><td> o</td><td> O CM</td>
<td> '(1)</td><td> v-</td><td> T““</td>
<td> Q_</td><td> m</td><td> m</td>
<td> CM</td><td> CD</td><td> σ></td>
<td> CM</td><td> X<sup>-</sup></td><td></td>
<td> CD</td><td> o</td><td> o</td>
<td> <l></td><td></td><td> CM</td>
<td> Ql</td><td> m</td><td> in</td>
<td></td><td> CD</td><td> o</td>
<td> CM</td><td> T—</td><td> cm</td>
<td> (Π</td><td> O</td><td> in</td>
<td></td><td></td><td> o</td>
<td> -CD</td><td> T<sup>-</sup></td><td> cm'</td>
<td> ex</td><td> 1</td><td></td>
<td> o</td><td> 65</td><td> o</td>
<td> CM</td><td> T““</td><td> cm</td>
<td> CD Ό</td><td> ,75</td><td> ,10</td>
<td> •0)</td><td> V</td><td> CM</td>
<td> £X</td><td> O</td><td> m</td>
<td> CD</td><td> I<sup>s</sup>*-</td><td> o</td>
<td></td><td></td><td> CM</td>
<td></td><td> CD</td><td> CD</td>
<td></td><td> Φ</td><td> Φ</td>
<td></td><td> Ό)</td><td> 'Φ</td>
<td></td><td> u.</td><td> L_</td>
<td></td><td> WY</td><td> | λ/2-</td>
<td> 27. példa</td><td> 1,65-1,70</td><td> 1,95-2,00</td>
<td> ____ 26. példa</td><td> 1,70-1,75</td><td> 2,0-2,05</td>
<td> 25. példa</td><td> 1,70-1,75</td><td> 2,0-2,05</td>
<td></td><td> λ/4-réteg</td><td> λ/2-réteg</td>
<td rowspan="7"> ___________________________________________________ 9.táblázat_____________________</td><td> összehasonlító 6. példa</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> S1O2 0.0727</td><td> TiO<sub>2 </sub>0.026</td><td> SiO2 0.525</td><td> TiO<sub>2 </sub>0.061</td><td> SiO2 0.049</td><td> CM CO n <sup>00 </sup>y v 1- 0</td><td> SiO2 0.248</td><td> vn</td><td> vn</td><td></td><td> CQ</td><td> 100</td><td> cn 0</td><td> 2.986</td><td> cc cc 0</td><td> 08</td><td> 50</td>
<td> összehasonlító 5. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> CM Q £ Cö 0'</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,0598</td><td> S1O2 0,0803</td><td> TiO<sub>2 </sub>0,5044</td><td> S1O2 0,0781</td><td></td><td></td><td> vn</td><td> UA</td><td> 00</td><td> cq</td><td> 100</td><td> £60</td><td> 98,78</td><td> 0,29</td><td> 95</td><td> 0</td>
<td> összehasonlító ____4. példa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> SÍO2 0,49</td><td> CM CO O co</td><td> S1O2 0,086</td><td> cm S O “ Ϊ— 0'</td><td> S1O2 0,249</td><td></td><td></td><td> vn</td><td> UA</td><td> CQ</td><td> CQ</td><td> 0 0 x<sup>-</sup></td><td> 0,98 I</td><td> 8'86</td><td> 0,22</td><td> 0</td><td> 45</td>
<td> összehasonlító 3. példa</td><td> C hordozó</td><td> C réteg</td><td> S1O2 0,561</td><td> 10 10 0 <sup>n </sup>CM g ro °. 1— 0</td><td> S1O2 0,522</td><td> O m CM 0 H °’</td><td> S1O2 0,054</td><td> 10 — O CM CM H °'</td><td> S1O2 0,253</td><td> <</td><td> UA</td><td> UA</td><td> __UA</td><td> 100</td><td> 1,05 |</td><td> 98,6</td><td> _______0,35 I</td><td> 85</td><td> ______09</td>
<td> összehasonlító 2. példa</td><td> B hordozó</td><td> B réteg</td><td> cm Q $ CO o'</td><td> Ta2O<sub>5 </sub>0,0636</td><td> S1O2 0,0588</td><td><sup>Ta</sup>2°5 0,4205</td><td> S1O2 0,2351</td><td></td><td></td><td> <</td><td> vn</td><td> UA-A</td><td> 1 UA-A 1</td><td> 100</td><td></td><td> 98,65</td><td> 0,25 I</td><td> 110</td><td> 85</td>
<td> összehasonlító 1. példa</td><td> A hordozó</td><td> A réteg</td><td> SiO<sub>2 </sub>0,515</td><td> Ta<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,0781</td><td> S1O2 0,0429</td><td> Ta<sub>2</sub>O<sub>5 </sub>0,4204</td><td> S1O2 0,247</td><td></td><td></td><td> <</td><td> UA</td><td> vn</td><td> 1 <sup>UA</sup></td><td> 100</td><td> 1,05 |</td><td> 98,71</td><td> 0,24 |</td><td> 85</td><td> 55</td>
<td></td><td> műanyag lencse hordozója</td><td> kemény bevonóréteg</td><td> 1. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 2. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 3. réteg rétegvastagság (λ)</td><td> 4. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 5. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 6. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> 7. rétég rétegvastagság (λ)</td><td> a gözfázisból történő rétegelőállítással nyert összetétel olvadékállapota</td><td> a gőzfázisból történő rétegelőállítással nyert finom szemcsék tapadása</td><td> alkáliállóság</td><td> karcállóság</td><td> tapadóképesség</td><td> Y fényvisszaverő képesség (%)</td><td> Z fényáteresztő képesség (%)</td><td> abszorpcióképesség, 100-Y-Z (%) |</td><td> hőállóság (°C)</td><td> höállóság (°C) 2 hónapig tartó, levegőnek való kitételt követően</td>
-26Amint azt az előzőekben részletesen kifejtettük, a találmány szerinti, fényvisszaverődés-gátló bevonattal ellátott optikai elem előnyei közé tartozik a jó fényvisszaverő képesség, fényáteresztő képesség, tapadóképesség, karcállóság, alkáliállóság és ütöszilárdság, továbbá rendelkezik még a megnövekedett höállóság előnyével is.
A találmánnyal továbbá olyan λ/4 - λ/2 - λ/4 vagy λ/4 - λ/4 - λ/2 - λ/4 rétegszerkezetű (λ = 500 nm) fényvisszaverődés-gátló bevonatot is megvalósítottunk, amelynél a λ/2-réteget egy legalább három rétegből álló, 1,8 és 2,4 közé eső törésmutatójú ekvivalens film képezi, amelynek páros sorszámú rétege szilíciumdioxidból van. A λ/2-réteget képező ekvivalens film páratlan sorszámú rétege előnyösen a titán-oxid, a cirkónium-oxid, a nióbium-oxid és a tantál-oxid közül választott legalább egy fémoxidból van. Ennél előnyösebben a szóban forgó páratlan sorszámú réteg nióbium-oxidból van.
A találmány szerinti fényvisszaverődés-gátló bevonatot, valamint az ilyen bevonattal ellátott optikai elemet szemüveggyártásnál használhatjuk fel.
Contents4
3 sheets
Sheet 1 Sheet 2 Sheet 3
52 members in 13 offices
Priority claims2
| Document | Office | Kind | Date |
|---|---|---|---|
| 2000258628 | Japan | A | |
| 2001130754 | Japan | A |
Members52
| Document | Office | Kind | |
|---|---|---|---|
| HU0103482D0 | Hungary | D0 | |
| CA2354961A1 | Canada | A1 | |
| CA2355021A1 | Canada | A1 | |
| EP1184685A2 | European Patent Office (EPO) | A2 | |
| EP1184686A2 | European Patent Office (EPO) | A2 | |
| AU5784701A | Australia | A | |
| AU5798901A | Australia | A | |
| KR20020017997A | Republic of Korea | A | |
| KR20020017998A | Republic of Korea | A | |
| JP2002071903A | Japan | A | |
| CN1341865A | China | A | |
| CN1341866A | China | A | |
| US2002048087A1 | United States of America | A1 | |
| US2002060848A1 | United States of America | A1 | |
| HU0103482A2 | Hungary | A2 | |
| HUP0103482A2This record | Hungary | A2 | |
| HU0103476A2 | Hungary | A2 | |
| HUP0103476A2 | Hungary | A2 | |
| JP2002328201A | Japan | A | |
| AU756842B2 | Australia | B2 | |
| US2003021033A9 | United States of America | A9 | |
| US6606196B2 | United States of America | B2 | |
| US2003193719A1 | United States of America | A1 | |
| TW569031B | Taiwan Province of China | B | |
| US6693747B2 | United States of America | B2 | |
| TW578004B | Taiwan Province of China | B | |
| JP3510845B2 | Japan | B2 | |
| EP1184686A3 | European Patent Office (EPO) | A3 | |
| EP1184685A3 | European Patent Office (EPO) | A3 | |
| JP3545359B2 | Japan | B2 | |
| AU775324B2 | Australia | B2 | |
| CN1172198C | China | C | |
| CA2355021C | Canada | C | |
| CN1175284C | China | C | |
| CA2354961C | Canada | C | |
| KR100483679B1 | Republic of Korea | B1 | |
| KR100483680B1 | Republic of Korea | B1 | |
| EP1184686B1 | European Patent Office (EPO) | B1 | |
| AT328296T | Austria | T | |
| ATE328296T1 | Austria | T1 | |
| DE60120059D1 | Germany | D1 | |
| DE60120059T2 | Germany | T2 | |
| EP1184685B1 | European Patent Office (EPO) | B1 | |
| AT349716T | Austria | T | |
| ATE349716T1 | Austria | T1 | |
| DE60125479D1 | Germany | D1 | |
| EP1184685B8 | European Patent Office (EPO) | B8 | |
| PT1184685E | Portugal | E | |
| ES2277876T3 | Spain | T3 | |
| DE60125479T2 | Germany | T2 | |
| HU0103476A3 | Hungary | A3 | |
| HUP0103476A3 | Hungary | A3 |
1 legal event, as the office reported them to INPADOC
Events
| Event | Code | |
|---|---|---|
| Lapse of provisional protection due to non-payment of feesLapsedFD9A | FD9A |
Numbers
- Application
- 103482
Titles2
- English
- OPTICAL ELEMENT HAVING AN ANTIREFLECTION FILM
- Hungarian
- Antireflexiós bevonattal ellátott optikai elem, valamint antireflexiós bevonat
Classification
- CPC, 2
- G02B1/115
- G02B1/10
- IPC, 2
- G02B1 11
- G02B1 10