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EP1548146B1

Method of coating a cutting tool

Abstract

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EP1548146B1, drawing sheet 1
Sheet 1 of 4

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Expired 21 December 2024, 1.8 years ago.

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7 claims: 7 independent, 0 dependent

  1. 1
    A method of depositing using reactive magnetron sputtering a nitride based wear resistant layer on a cutting tool for machining by chip removal characterised in:- a deposition rate, td, higher than 2 nm/s- a positive bias voltage, Vs between +1 V and +60 V applied to the substrate, in respect to ground potential- a substrate current density, Is/As, larger than 10 mA/cm2- a target surface area, At, larger than 0,7 times the substrate surface area, As, i.e. R=At/As>0,7 and- a distance between the target surface and the substrate surface, dt, < (At)0.5 Abscheideverfahren unter Verwendung von reaktivem Magnetron-Sputtern einer abriebbeständigen Schicht auf ein Schneidwerkzeug für die spanabhebende Bearbeitung, gekennzeichnet durch: - eine Abscheidegeschwindigkeit td von mehr als 2 nm/s,- eine bezüglich des Massepotentials positive Vorspannung Vs zwischen +1 V und +60 V, die an das Substrat angelegt wird,- eine Substratstromdichte Is/As von mehr als 10 mA/cm2,- einen Zielflächenbereich At von mehr als 0,7-mal dem Substratflächenbereich As, d.h. R = At/As > 0,7, und- einem Abstand dt zwischen der Zielfläche und der Substratfläche < (At)0,5. Procédé de dépôt, utilisant une pulvérisation par magnétron réactive, d'une couche résistant à l'usure à base de nitrure sur un outil de coupe pour un usinage par enlèvement de copeaux, caractérisé par : - une vitesse de dépôt td supérieure à 2 nm/s- une tension de polarisation positive, Vs entre + 1 V et + 60 V appliquée au substrat, par rapport au potentiel de masse- une densité de courant de substrat, Is/As, supérieure à 10 mA/cm2- une aire de surface cible, At, supérieure à 0,7 fois l'aire de surface du substrat, As, c'est-à-dire R = At/As > 0,7 et- une distance entre la surface cible et la surface du substrat, dt, < (At)0,5
  2. 2
    A method according to claim 1, characterised in that- R> 1.0 and- dt< 0.7*(At)0.5 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que- R > 1,0 et- dt < 0,7*(At)0,5 Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß- R > 1,0 und- dt < 0,7 * (At)0,5.
  3. 3
    A method according to claim 1, characterised in that- R> 1, 5 and- dt< 0.5*(At)0.5 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que- R > 1,5, et- dt < 0,5*(At)0,5 Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß- R > 1,5 und- dt < 0,5 * (At)0,5.
  4. 4
    A method according to any of preceding claims, characterised in that the substrate current density, Is/As is larger than 30 mA/cm2 Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la densité de courant de substrat, Is/As est supérieure à 30 mA/cm2. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Substratstromdichte Is/As größer als 30 mA/cm2 ist.
  5. 5
    A method according to any of preceding claims, characterised in that the deposition rate, td, is higher than 3 nm/s. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la vitesse de dépôt, td, est supérieure à 3 nm/s. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidegeschwindigkeit dt größer als 3 nm/s ist.
  6. 6
    A method according to any of preceding claims, characterised in that the nitride layer is MeN and/or Me2N, where Me is one or more of the elements Sc, Y, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Si, Al and B. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche de nitrure est faite de MeN et/ou Me2N, où Me est un ou plusieurs des éléments Sc, Y, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Si, Al, et B. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Nitridschicht MeN und/oder Me2N ist, wobei Me eines oder mehrere der Elemente Sc, Y, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Si, Al und B ist.
  7. 7
    A method according to any of preceding claims, characterised in that the nitride layer contains a total amount of Al and/or Si and/or Cr and/or B of at least 40 at% however with a maximum of 10 at% B. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche de nitrure contient une proportion totale de Al et/ou Si et/ou Cr et/ou B d'au moins 40 % atomique avec cependant un maximum de 10 % atomique de B. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Nitridschicht eine Gesamtmenge von Al und/oder Si und/oder Cr und/oder B von wenigstens 40 At.-%, jedoch maximal 10 At.-% B enthält.