Nova Patents
PL205140B1

Heat treatable low-e coated articles and methods of making same by sputtering ag in oxygen inclusive atmosphere

Abstract

This record has no abstract on file.

PL205140B1, drawing sheet 1
Sheet 1 of 9

Term

Term ended

Expired 20 August 2023, 3.1 years ago.

  1. Priority
  2. Filed
  3. Granted
  4. Expired
  5. Today

11 claims: 1 independent, 10 dependent

  1. 1
    Zastrzeżenia patentowe 1. Sposób wytwarzania wyrobu powlekanego zawierającego powłokę osadzoną na podłożu szklanym, w którym:- napyla się na podłoże szklane pierwszą warstwę dielektryczną;- rozpyla się tarczę zawierającą metal lub stop metaliczny w atmosferze zawierającej co najmniej tlen gazowy, dla utworzenia na podłożu, nad pierwszą warstwą dielektryczną, pierwszej warstwy kontaktowej zawierającej tlenek metalu;znamienny tym, że: - rozpyla się tarczę zawierającą Ag w atmosferze zawierającej co najmniej tlen gazowy dla utworzenia warstwy odbijającej promieniowanie podczerwone (IR) zawierającej tlenek srebra, umieszczonej nad pierwszą warstwą kontaktową i kontaktującej się z nią;- rozpyla się tarczę zawierającą metal lub stop metalu w atmosferze zawierającej co najmniej tlen gazowy dla utworzenia na podłożu drugiej warstwy kontaktowej zawierającej tlenek metalu tak, że ta druga warstwa kontaktowa znajduje się nad warstwą odbijającą IR zawierającą tlenek srebra i kontaktuje się z nią;przy czym do każdej odnośnej atmosfery w pobliżu tarcz użytych do napylenia pierwszej i drugiej warstwy kontaktowej wprowadza się więcej tlenu niż do atmosfery bliskiej tarczy zawierającej Ag użytej do napylenia odbijającej IR warstwy zawierającej tlenek srebra;oraz - poddaje się obróbce cieplnej podłoże szklane z naniesioną na nie powłoką dla termicznego jej zahartowania, przy czym w wyniku wspomnianej obróbki cieplnej przepuszczanie światła wyrobu powlekanego nie ulega zmniejszeniu.
  2. 2
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że stosunek ilości (a) gazowego tlenu wprowadzanego do atmosfery bliskiej tarczy zawierającej Ag użytej do napylenia warstwy odbijającej IR do (b) gazowego tlenu wprowadzanego do atmosfery bliskiej jednej z tarcz użytych do napylenia, odpowiednio, jednej z warstw kontaktowych, mieści się w zakresie od około 1 :1,3 do 1 : 10 tak, że w pobliżu tarczy użytej do napylenia warstwy kontaktowej jest więcej tlenu niż w pobliżu tarczy zawierającej Ag użytej do napylenia warstwy odbijającej IR.
  3. 3
    Sposób według zastrz. 2, znamienny tym, że wspomniany stosunek mieści się w zakresie od około 1 :1,5 do 1 : 8.
  4. 4
    Sposób według zastrz. 2, znamienny tym, że wspomniany stosunek mieści się w zakresie od około 1:2 do 1 : 5.
  5. 5
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że do atmosfery bliskiej tarczy zawierającej Ag wprowadza się tlen gazowy w ilości mieszczącej się w zakresie od około 20 do 100 cm 3 (sccm), przy czym co najmniej jedna z warstw kontaktowych zawiera NiCrOx.
  6. 6
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że do atmosfery bliskiej tarczy zawierającej Ag wprowadza się tlen gazowy w ilości mieszczącej się w zakresie od około 20 do 60 cm 3 (sccm).
  7. 7
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że do atmosfery bliskiej tarczy zawierającej Ag wprowadza się tak tlen gazowy jak i argon gazowy, przy czym do atmosfery bliskiej tarczy zawierającej Ag wprowadza się więcej argonu gazowego niż tlenu gazowego.
  8. 8
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że co najmniej jedna z warstw kontaktowych zawiera NiCrOx, a utlenianie odbywa się w sposób stopniowany tak, że pierwsza część wspomnianej warstwy kontaktowej, znajdująca się przy wspomnianej warstwie odbijającej promieniowanie podczerwone (IR) utlenia się w mniejszym stopniu niż druga część wspomnianej warstwy kontaktowej, która znajduje się dalej od wspomnianej warstwy odbijającej promieniowanie podczerwone (IR) i która znajduje się w środkowej części wspomnianej warstwy kontaktowej.
  9. 9
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że w kierunku od podłoża szklanego wyrobu powlekanego do warstwy zewnętrznej wprowadza się:- pierwszą warstwę dielektryczną, a następnie - pierwszą warstwę kontaktową zawierającą NiCrOx;- warstwę odbijającą IR zawierającą tlenek srebra;- drugą warstwę kontaktową zawierającą NiCrOx;- co najmniej jedną dodatkową warstwę dielektryczną;- trzecią warstwę zawierającą NiCrOx;- drugą warstwę odbijającą IR;- czwartą warstwę zawierającą NiCrOx;oraz - co najmniej jedną dodatkową warstwę dielektryczną. PL 205 140 B1
  10. 10
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że wyrobowi powlekanemu nadaje się transmitancję światła wynoszącą co najmniej około 65% i rezystancję powierzchniową (Rs) nie większą niż 8,0 Ω/kwadrat (Ω/ο).
  11. 11
    Sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że do co najmniej jednej spośród warstw kontaktowych wprowadza się NiCrOx.
Independent claims11