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MX359196B

In-situ spectroscopy for monitoring fabrication of integrated computational elements.

Abstract

Technologies are described for monitoring characteristics of layers of integrated computational elements (ICEs) during fabrication using an in-situ spectrometer operated in step-scan mode in combination with lock-in or time-gated detection. As part of the step-scan mode, a wavelength selecting element of the spectrometer is discretely scanned to provide spectrally different instances of probe-light, such that each of the spectrally different instances of the probe-light is provided for a finite time interval. Additionally, an instance of the probe-light interacted during the finite time interval with the ICE layers includes a modulation that is being detected by the lock-in or time-gated detection over the finite time interval.

MX359196B, drawing sheet 1
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46 claims: 40 independent, 6 dependent

  1. 1
    CLAIMS REIVINDICACIONES IMPI MsTlTUTO MEXICANO lHST¿TUAPROPlKVAU IMPI msTlTUTO MEXICANO lHST¿tUAPROPlKVAU Habiéndose descrito la invención como antecede, se reclama como propiedad lo contenido en las siguientes reivindicaciones:Having described the invention as above, the content of the following claims is claimed as property: 1. Un método caracterizado porque comprende: one. A method characterized in that it comprises: receiving, by means of a manufacturing system, an integrated computational element (ICE) design, the ICE design comprises a description of a substrate and a plurality of layers, their respective objective complex refractive indexes and thicknesses, where the refractive indices Adjacent layer complexes are different from each other, and wherein a hypothetical ICE manufactured in accordance with the ICE design is related to a characteristic of a sample;recibir, mediante un sistema de fabricación, un diseño de un elemento computacional integrado (ICE), el diseño de ICE comprende una descripción de un sustrato y una pluralidad de capas, sus espesores e índices de refracción complejos objetivo respectivos, donde los índices de refracción complejos de capas adyacentes son diferentes entre sí, y en donde un ICE hipotético fabricado de conformidad con el diseño de ICE está relacionado con una característica de una muestra;formar, mediante el sistema de fabricación, al menos algunas de las capas de una pluralidad de ICE de conformidad con el diseño de ICE;forming, through the manufacturing system, at least some of the layers of a plurality of ICEs in accordance with the ICE design;Sequentially illuminating, by a measurement system associated with the manufacturing system, the layers formed with probe light instances provided by the measurement system, the instances are spectrally different from each other within a spectral measurement range, so each instance of the probe light illuminates the layers formed during an interval of iluminar de manera secuencial, mediante un sistema de medición asociado con el sistema de fabricación, las capas formadas con instancias de luz de sonda proporcionadas por el sistema de medición, las instancias son espectralmente diferentes entre sí dentro de un intervalo espectral de medición, de manera que cada una de las instancias de la luz de sonda ilumine las capas formadas durante un intervalo de 153 153 IMPI IMPI INSTITUTO MEXICANO tiempo finito;DE detectar, mediante el sistema de medición para rada una de las instancias de la luz de sonda, una modulación de luz de sonda que interactúa con las capas formadas;MEXICAN INSTITUTE finite time;OF detecting, by the rada measurement system, one of the instances of the probe light, a modulation of probe light that interacts with the layers formed;generar, mediante el sistema de medición, un espectro de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas en el intervalo de medición espectral a partir de un conjunto de valores de las modulaciones detectadas correspondientes a las instancias de la luz de sonda;y ajustar, mediante el sistema de fabricación, la formación con base en el espectro generado. generating, by means of the measurement system, a spectrum of the probe light that interacted with the layers formed in the spectral measurement interval from a set of values ​​of the detected modulations corresponding to the instances of the probe light;and adjust, through the manufacturing system, the training based on the generated spectrum.
  2. 2
    The method according to claim 2. El método de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque comprende además generar la modulación de las instancias de luz de sonda que interactúa con las capas formadas antes de la iluminación de las capas formadas. 1, characterized in that it further comprises generating the modulation of the probe light instances that interacts with the layers formed before the illumination of the layers formed.
  3. 3
    The method according to claim 3. El método de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque las instancias de la luz de sonda se modulan con un elemento óptico de interrupción. 2, characterized in that the instances of the probe light are modulated with an interrupting optical element.
  4. 4
    El método de conformidad con la reivindicación Four. The method according to claim 3, caracterizado porque el elemento óptico de interrupción se coloca dentro de una vía óptica que comienza en una fuente óptica que emite la luz de sonda y termina en las capas formadas. 3, characterized in that the interrupting optical element is placed inside an optical path that begins in an optical source that emits the probe light and ends in the layers formed.
  5. 5
    The method according to claim 5. El método de conformidad con la reivindicación 154 154 INSTITUTO MEXICANO DE LA PROPIEDAD MEXICAN INSTITUTE OF PROPERTY 3, caracterizado porque el elemento óptico cíe ' interrupción comprende uno de un obturador o un moduláülór optoacústico. 3, characterized in that the optical element with interruption comprises one of a shutter or an optoacoustic modulator.
  6. 6
    The method according to claim 6. El método de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque comprende además emitir, mediante una fuente óptica que expande el intervalo espectral de medición, la luz de sonda como un tren de pulsos, donde las instancias de la luz de sonda se modulan mediante el tren de pulsos. 2, characterized in that it further comprises emitting, through an optical source that expands the measurement spectral range, the probe light as a pulse train, where the probe light instances are modulated by the pulse train.
  7. 7
    The method according to claim 7. El método de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque las capas formadas están en reposo, mientras se realiza la detección, en relación con una ubicación donde las instancias moduladas de la luz de sonda iluminan las capas formadas. 2, characterized in that the formed layers are at rest, while detection is performed, relative to a location where the modulated instances of the probe light illuminate the formed layers.
  8. 8
    The method according to claim 8. El método de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque comprende además:2, characterized in that it further comprises: receiving, using an interferometer of the measurement system, probe light provided by an optical source that expands the measurement spectral range;and for each optical path difference of a plurality of optical path differences of the interferometer, provide, by the interferometer, an instance of the probe light associated with the optical path difference. recibir, mediante un interferómetro del sistema de medición, luz de sonda proporcionada por una fuente óptica que expande el intervalo espectral de medición;y para cada diferencia de vía óptica de una pluralidad de diferencias de vía óptica del interferómetro, proporcionar, mediante el interferómetro, una instancia de la luz de sonda asociada con la diferencia de vía óptica.
  9. 9
    The method according to claim 9. El método de conformidad con la reivindicación 8, caracterizado porque cada una de las diferencias de la vía óptica se mantiene al menos por una duración de intervalo de tiempo finito. 8, characterized in that each of the differences in the optical path is maintained for at least a finite time interval duration. 155 155
  10. 10
    10. IMPI IMPI INSTITUTO MEXICANO MEXICAN INSTITUTE El método de conformidad conlLl®)usí}®.iv’Í«3K22etc'ión The method in accordance withlLl®) usí} ®.iv'Í «3K22etc'ión 8, caracterizado porque el sistema de—mad.ix;·jn..a,s^ia.i.iftdQ^£xin el sistema de fabricación comprende un espectrómetro FTIR. 8, characterized in that the system of — mad.ix;· jn..a, s ^ ​​ia.i.iftdQ ^ £ xin the manufacturing system comprises an FTIR spectrometer.
  11. 11
    El método de conformidad con la reivindicación eleven. The method according to claim 8, caracterizado porque la detección se sincroniza con la modulación y se realiza mediante el uso de un detector fijo referenciado por la modulación. 8, characterized in that the detection is synchronized with the modulation and is carried out by using a fixed detector referenced by the modulation.
  12. 12
    The method according to claim 12. El método de conformidad con la reivindicación 11, caracterizado porque el intervalo de tiempo finito durante el cual se detectan las instancias moduladas comprende una cantidad especificada de constantes de tiempo del detector fijo. 11, characterized in that the finite time interval during which the modulated instances are detected comprises a specified amount of time constants from the fixed detector.
  13. 13
    The method according to claim 13. El método de conformidad con la reivindicación 12, caracterizado porque la cantidad especificada de constantes de tiempo del detector fijo está entre cinco y diez. 12, characterized in that the specified amount of time constants of the fixed detector is between five and ten.
  14. 14
    The method according to claim 14. El método de conformidad con la reivindicación 11, caracterizado porque comprende además, para cada diferencia de vía óptica de una pluralidad de diferencias de vía óptica del interferómetro, detectar, mediante el detector fijo, la modulación de la instancia de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas como una señal de detector fijo que corresponde a la diferencia de vía óptica. 11, characterized in that it further comprises, for each optical path difference of a plurality of optical path differences of the interferometer, detecting, by means of the fixed detector, the modulation of the probe light instance that interacted with the layers formed as a signal fixed detector that corresponds to the optical path difference.
  15. 15
    El método de conformidad con la reivindicación fifteen. The method accordin g to claim 14, caracterizado porque la generación del espectro de la luz 14, characterized in that the generation of the light spectrum 156 probe that interacted with 156 de sonda que interactuó con las IM IM INSTITUTO MEXICANO DE LA RRpi'IEDAU layers ΐΝφχαίϋΐα the spectral interval of measurement comprises, .a.jjjñfan ^ un ^^ aoajjjato of values ​​of fixed detector signals corresponding to the plurality of differences of optical path to obtain a dependence of difference of optical path of the detected modulation, and process the optical path difference dependence obtained from the detected probe light to generate the spectrum. INSTITUTO MEXICANO DE LA RRpi’IEDAU capas ΐΝφχαίϋΐα el intervalo espectral de medición comprende,.a.jjjñfan^un^^aoajjjato de valores de señales de detector fijo correspondientes a la pluralidad de diferencias de vía óptica para obtener una dependencia de diferencia de vía óptica de la modulación detectada, y procesar la dependencia de diferencia de vía óptica obtenida de la luz de sonda detectada para generar el espectro.
  16. 16
    The method according to claim 16. El método de conformidad con la reivindicación 15, caracterizado porque el procesamiento de la dependencia de diferencia de vía óptica obtenida de la luz de sonda detectada comprende realizar una transformada de Fourier de la dependencia de diferencia de vía óptica obtenida de la luz de sonda detectada. 15, characterized in that the processing of the optical path difference dependence obtained from the detected probe light comprises performing a Fourier transform of the optical path difference dependence obtained from the detected probe light.
  17. 17
    The method according to claim 17. El método de conformidad con la reivindicación 2, caracterizado porque comprende además:2, characterized in that i t further comprises: receiving, using a measurement system monochromator, probe light provided by an optical source that expands the measurement spectral range, where the monochromator includes a wavelength selector and an output port;and for each relative orientation of a plurality of relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port, provide, by the monochromator, an instance of the probe light recibir, mediante un monocromador del sistema de medición, luz de sonda proporcionada por una fuente óptica que expande el intervalo espectral de medición, donde el monocromador incluye un selector de longitud de onda y un puerto de salida;y para cada orientación relativa de una pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador, proporcionar, mediante el monocromador, una instancia de la luz de sonda 157 157 IMPI Mexican Institute IMPI instituto mexicana Ot LA FROMECAD asociada con la orientación relativa. inoujimal Ot THE FROMECAD associated with relative orientation. inoujimal
  18. 18
    The conformity method ooa ί'ηιΐο · ϊι 18. El método de conformidad ooa ί'ηιΐο·ϊι 17, caracterizado porque cada una de las orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida de monocromador se mantiene al menos por una duración del intervalo de tiempo finito. 17, characterized in that each of the relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port is maintained for at least a duration of the finite time interval.
  19. 19
    The method according to claim 19. El método de conformidad con la reivindicación 17, caracterizado porque la detección se sincroniza con la modulación y se realiza mediante el uso de un detectar fijo referenciado por la modulación, y el método comprende además, para cada orientación relativa de una pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador, detectar, mediante el detector fijo, la modulación de la instancia de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas como una señal de detector fijo correspondiente a la orientación relativa. 17, characterized in that detection is synchronized with modulation and is performed by using a fixed detect referenced by modulation, and the method further comprises, for each relative orientation, a plurality of relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port, detect, using the fixed detector, modulating the instance of the probe light that interacted with the layers formed as a fixed detector signal corresponding to the relative orientation.
  20. 20
    El método de conformidad con la reivindicación twenty. The method according to claim 19, caracterizado porque la generación del espectro de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas en el intervalo espectral de medición comprende ajustar un conjunto de valores de las señales del detector fijo correspondientes a la pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda 19, characterized in that the generation of the spectrum of the probe light that interacted with the layers formed in the measurement spectral interval comprises adjusting a set of values ​​of the fixed detector signals corresponding to the plurality of relative orientations between the length selector of wave 158 158 IMPI and the output port of the p®W monochromatorRlAbb have a dependency on the orientation of ~ ηη of -lui'ryi'ri'iK * wave of the detected probe light, and IMPI y el puerto de salida del monocromador p®WRlAbb tener una dependencia de la orientación del ~ηη de -lui’ryi’ri'iK * onda de la luz de sonda detectada, y 20, caracterizado porque el procesamiento comprende correlacionar la pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador con longitudes de onda correspondientes del intervalo espectral de medición. 20, characterized in that the processing comprises correlating the plurality of relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port with corresponding wavelengths of the measurement spectral range.
  21. 21
    22. The method according to claim 22. El método de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque comprende además generar la modulación de las instancias de luz de sonda que interactuaron con las capas formadas mediante el movimiento periódico de las capas formadas hacia adentro y afuera de un punto del haz de las instancias de luz de sonda, de manera que la modulación corresponda a una distribución temporal del movimiento periódico. 1, characterized in that it further comprises generating the modulation of the probe light instances that interacted with the formed layers by periodically moving the formed layers in and out of a point in the beam of the probe light instances, so that modulation corresponds to a temporal distribution of periodic motion.
  22. 22
    2. 3. The method according to claim 23. El método de conformidad con la reivindicación 22, caracterizado porque comprende además:22, characterized in that it further comprises: receive, by means of an interferometer of the measurement system, probe light provided by an optical source that expands the measurement spectral range, - and recibir, mediante un interferómetro del sistema de medición, luz de sonda proporcionada por una fuente óptica que expande el intervalo espectral de medición,- y 159 for each optical path difference of a plurality of light optical path differences iii Leipheiometer, provide, by means of the interferometer, an instance of the probe light associated with the optical path difference. 159 para cada diferencia de vía óptica de una pluralidad de diferencias de vía óptica lltil iiiLeiféiómetro, proporcionar, mediante el interferómetro, una instancia de la luz de sonda asociada con la diferencia de vía óptica.
  23. 23
    24. The method according to claim 24. El método de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado porque cada una de las diferencias de vía óptica se mantiene al menos por una duración del intervalo de tiempo finito. 23, characterized in that each of the optical path differences is maintained for at least a duration of the finite time interval.
  24. 24
    25. The method according to claim 25. El método de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado porque el sistema de medición asociado con el sistema de fabricación comprende un espectrómetro FTIR. 23, characterized in that the measurement system associated with the manufacturing system comprises an FTIR spectrometer.
  25. 25
    26. The method according to claim 26. El método de conformidad con la reivindicación 23, caracterizado porque la detección se realiza mediante el uso de un detector restringido por tiempo, temporizado por la modulación. 23, characterized in that detection is carried out by using a time-restricted detector, timed by modulation.
  26. 26
    27. The method according to claim 27. El método de conformidad con la reivindicación 26, caracterizado porque un soporte tiene una o más aperturas, donde los ICE están sostenidos en el soporte de manera que al menos dos de los ICE tengan una abertura entre estos, y para cada diferencia de vía óptica de una pluralidad de diferencias de vía óptica del interferómetro, la detección de la modulación de la instancia de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas comprende mover el soporte de manera que la instancia de la luz de sonda 26, characterized in that a support has one or more openings, where the ICEs are supported in the support so that at least two of the ICEs have an opening between them, and for each optical path difference of a plurality of optical path differences of the interferometer, detecting the modulation of the probe light instance that interacted with the formed layers comprises moving the support so that the probe light instance 160 collecting, by means of the time-restricted detector, the instance of the probe light transmitted through the current instance of the formed layers illuminated with the instance of the probe light, recording a first detector signal of the light collecting instance of probe transmitted through the current instance of the formed layers when the probe light instance illuminates the current instance of the formed layers, move the bracket so that the probe light instance illuminates an opening in the bracket, pick up, with the detector restricted by time, the probe light instance that passes through the opening without being transmitted through the current instance of the layers formed, record a signal from the reference detector when the probe light instance illuminates the opening, and obtain, by means of the time-restricted detector, a referenced time constrained detector signal corresponding to the optical path difference based on the first detector signal and the reference detector signal. 160 recoger, mediante el detector restringido por tiempo, la instancia de la luz de sonda transmitida a través de la instancia actual de las capas formadas iluminadas con la instancia de la luz de sonda, registrar una primera señal de detector de la instancia recogida de luz de sonda transmitida a través de la instancia a actual de las capas formadas cuando la instancia de la luz de sonda ilumina la instancia actual de las capas formadas, mover el soporte de manera que la instancia de la luz de sonda ilumine una abertura del soporte, recoger, con el detector restringido por tiempo, la instancia de luz de sonda que pasa a través de la abertura sin ser transmitida a través de la instancia actual de las capas formadas, registrar una señal del detector de referencia cuando la instancia de la luz de sonda ilumina la abertura, y obtener, mediante el detector restringido por tiempo, una señal de detector restringido por tiempo referenciada correspondiente a la diferencia de vía óptica con base en la primera señal de detector y la señal de detector de referencia.
  27. 27
    28. The method according to claim 28. El método de conformidad con la reivindicación 27, caracterizado porque la generación del espectro de la luz 27, characterized in that the generation of the light spectrum 161 161 INSTITUTO MEXICANO MEXICAN INSTITUTE DE LA de sonda que interactuó con las capas 'formadas en el intervalo espectral de medición comprende ' ’ ajustar un conjunto de valores de señales de detector restringido por tiempo referenciadas correspondientes a la pluralidad de diferencias de vía óptica para obtener una dependencia de diferencia de vía óptica de la modulación detectada, y procesar la dependencia de diferencia de vía óptica obtenida de la luz de sonda detectada para generar el espectro. DE of the probe that interacted with the layers' formed in the measurement spectral range comprises' 'adjusting a set of referenced time-restricted detector signal values ​​corresponding to the plurality of optical path differences to obtain a path difference dependency optics of the detected modulation, and process the optical path difference dependence obtained from the detected probe light to generate the spectrum.
  28. 28
    29. The method according to claim 29. El método de conformidad con la reivindicación 28, caracterizado porque el procesamiento de la dependencia de diferencia de vía óptica obtenida de la luz de sonda detectada comprende realizar una transformada de Fourier de la dependencia de diferencia de vía óptica obtenida de la luz de sonda detectada. 28, characterized in that the processing of the optical path difference dependence obtained from the detected probe light comprises performing a Fourier transform of the optical path difference dependence obtained from the detected probe light.
  29. 29
    30. The method according to claim 30. El método de conformidad con la reivindicación 22, caracterizado porque comprende además:22, characterized in that it further comprises: receiving, using a measurement system monochromator, probe light provided by an optical source that expands the measurement spectral range, where the monochromator includes a wavelength selector and an output port;and for each relative orientation of a plurality of relative orientations between the wavelength selector recibir, mediante un monocromador del sistema de medición, luz de sonda proporcionada por una fuente óptica que expande el intervalo espectral de medición, donde el monocromador incluye un selector de longitud de onda y un puerto de salida;y para cada orientación relativa de una pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda 162 162 INSTITUTO MEXICANO D £ THE INDUSTRIAL PROPERTY and the output port using the monochromator, of the one monochromator, provide, instance of the probe light associated with the relative orientation. INSTITUTO MEXICANO D£ LA PROPIEDAD INDUSTRIAL y el puerto de salida mediante el monocromador, del una monocromador, proporcionar, instancia de la luz de sonda asociada con la orientación relativa.
  30. 30
    31. The method according to claim 31. El método de conformidad con la reivindicación 30, caracterizado porque cada una de las orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador se mantiene al menos por una duración del intervalo de tiempo finito. 30, characterized in that each of the relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port is maintained for at least a duration of the finite time interval. modulación, un soporte tiene una o más aperturas, donde los ICE están sostenidos en el soporte de manera que al menos dos de los ICE tengan una abertura entre éstos, y para cada orientación relativa de una pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador, donde la detección de la modulación de la instancia de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas comprende mover el soporte de manera que la instancia de la luz de sonda ilumine una instancia actual de las capas formadas, recoger, mediante el detector restringido por modulation, a bracket has one or more openings, where the ICEs are supported in the bracket so that at least two of the ICEs have an opening between them, and for each relative orientation of a plurality of relative orientations between the length selector of wave and the monochromator output port, where detecting the modulation of the probe light instance that interacted with the formed layers comprises moving the support so that the probe light instance illuminates a current instance of the formed layers, picking up, by means of the detector restricted by 163 weather 163 tiempo IMPI IMPI INSTITUTO MEXICANO DE LA PROPIEDAD INDUSTRIAL la instancia de la luz de sonda transmitida a través — * lili· — I ' I 1 I de la instancia actual de las capas formadas iluminadas con la instancia de la luz de sonda, registrar una primera señal de detector de la instancia recogida de luz de sonda transmitida a través de la instancia a actual de las capas formadas cuando la instancia de la luz de sonda ilumina la instancia actual de las capas formadas, mover el soporte de manera que la instancia de la luz de sonda ilumine una abertura del soporte, recoger, con el detector restringido por tiempo, la instancia de luz de sonda que pasa a través de la abertura sin ser transmitida a través de la instancia actual de las capas formadas, registrar una señal del detector de referencia cuando la instancia de la luz de sonda ilumina la abertura, y obtener, mediante el detector restringido por tiempo, una señal de detector restringido por tiempo referenciada correspondiente a la orientación relativa entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida de salida del monocromador con base en la primera señal de detector y la señal de detector de referencia. THE MEXICAN INSTITUTE OF INDUSTRIAL PROPERTY the instance of the probe light transmitted through - * lili · - I 'I 1 I of the current instance of the formed layers illuminated with the probe light instance, record a first detector signal from the collected instance of probe light transmitted through the current instance of the layers formed when the instance of the probe light illuminates the current instance of the formed layers, move the holder so that the probe light instance illuminates an opening in the holder, pick up, with the detector restricted by time, the probe light instance passing through the opening without being transmitted through the current instance of the layers formed, recording a signal from the reference detector when the probe light instance illuminates the opening, and obtaining, by the time-restricted detector, a referenced time constrained detector signal corresponding to the relative orientation between the wavelength selector and the monochromator output output port based on the first detector signal and the reference detector signal. 33. The method according to claim 33. El método de conformidad con la reivindicación
  31. 31
    32, caracterizado porque la obtención del espectro de la luz de sonda que interactuó con las capas formadas en el 32, characterized in that obtaining the spectrum of the probe light that interacted with the layers formed in the 164 Measurement spectral range comprises adjusting a set of values ​​of the refereneated time-restricted detector signals corresponding to the plurality of relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port to obtain a dependence on the orientation of the selector of wavelength of the detected probe light, and processing the dependence of the wavelength selector orientation obtained from the detected probe light to generate the spectrum. 164 intervalo espectral de medición comprende ajustar un conjunto de valores de las señales del detector restringido por tiempo refereneiadas correspondientes a la pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador para obtener una dependencia de la orientación del selector de longitud de onda de la luz de sonda detectada, y procesar la dependencia de la orientación del selector de longitud de onda obtenida de la luz de sonda detectada para generar el espectro. 3. 4. The method according to claim 34. El método de conformidad con la reivindicación
  32. 32
    33, caracterizado porque el procesamiento comprende correlacionar la pluralidad de orientaciones relativas entre el selector de longitud de onda y el puerto de salida del monocromador con longitudes de onda correspondientes del intervalo espectral de medición. 33, characterized in that the processing comprises correlating the plurality of relative orientations between the wavelength selector and the monochromator output port with corresponding wavelengths of the measurement spectral range.
  33. 33
    35. The method according to claim 35. El método de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque la modulación tiene una frecuencia que está especificada para que sea diferente a las frecuencias o tonos de fuentes que emiten luz dispersada que pueda ser detectada por el sistema de medición, donde las longitudes de onda de la luz dispersada están dentro del intervalo espectral de medición. 1, characterized in that the modulation has a frequency that is specified to be different from the frequencies or tones of sources that emit scattered light that can be detected by the measurement system, where the wavelengths of the scattered light are within the range spectral measurement.
  34. 34
    36. The method according to claim 36. El método de conformidad con la reivindicación 165 165 1, caracterizado porque la luz de las capas formadas comprende una 1, characterized in that the light of the layers formed comprises a IMPI industrial transmitted light WíiSSSei probe, light _ | ________ ~ - * ~ *M**>‘, J· '*** -— * scattered or emitted light. IMPI sonda WíiSSSei industrial de luz transmitida, luz _ |________ ~-*~*M**>‘,J·'***-—* dispersada o luz emitida.
  35. 35
    37. The method according to claim 37. El método de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado porque el ajuste comprende caracterizar las capas formadas con base en el espectro generado. 1, characterized in that the adjustment comprises characterizing the layers formed based on the generated spectrum.
  36. 36
    38. The method according to claim 38. El método de conformidad con la reivindicación 37, caracterizado porque comprende además actualizar una velocidad de deposición usada para formar capas que restan por formar con base en resultados de la caracterización de las capas formadas. 37, characterized in that it further comprises updating a deposition rate used to form remaining layers to be formed based on results of the characterization of the formed layers.
  37. 37
    39. The method according to claim 39. El método de conformidad con la reivindicación 37, caracterizado porque comprende además modificar índices de refracción de las capas que restan por formar con base en resultados de la caracterización de las capas formadas. 37, characterized in that it further comprises modifying refractive indices of the remaining layers to be formed based on results of the characterization of the layers formed.
  38. 38
    40. The method according to claim 40. El método de conformidad con la reivindicación 37, caracterizado porque comprende además modificar espesores objetivo de las capas que restan por formar con base en resultados de la caracterización de las capas formadas. 37, characterized in that it further comprises modifying the target thicknesses of the remaining layers to be formed based on the results of the characterization of the layers formed.
  39. 39
    41. The method according to claim 41. El método de conformidad con la reivindicación 37, caracterizado porque el ajuste comprende cambiar una cantidad total de capas especificada por el diseño de ICE a una nueva cantidad total de capas. 37, characterized in that the adjustment comprises changing a total number of layers specified by the ICE design to a new total number of layers.
  40. 40
    42. A system characterized in that it comprises:42. Un sistema caracterizado porque comprende: a deposition chamber;una cámara de deposición;166 one or more 166 una o más IMPI IMPI INSTITUTO MEXICANO fuentes de depos icióñELAá^feíiiaá8tsSlí5n‘' la cámara de deposición para proporcionar npa t a r -i a 1 e.q a . part.i.-n de los cuales se forman capas de uno o más elementos computacionales integrados (ICE);MEXICAN INSTITUTE sources of depositTHE Aá ^ feíiiaá8tsSlí5n '' the deposition chamber to provide npa tar -ia 1 eq a. part.i.-n of which layers of one or more integrated computational elements (ICE) are formed;a spectrometer associated with the deposition chamber to measure in si tu one or more spectra of the ICE layers, where the spectra are measured by using a time distribution of a modulation of probe light instances that sequentially interacted with the ICE layers, the instances are spectrally different from each other in a spectral measurement range;and one or more supports arranged within the deposition chamber, at least partially, within one field of view of the deposition source (s) and another field of view of the spectrometer to hold the ICE layers as they are formed and they measure their spectra, respectively;un espectrómetro asociado con la cámara de deposición para medir in si tu uno o más espectros de las capas de los ICE, donde los espectros se miden mediante el uso de una distribución temporal de una modulación de instancias de luz de sonda que interactuaron secuencialmente con las capas de ICE, las instancias son espectralmente diferentes entre sí en un intervalo espectral de medición;y uno o más soportes dispuestos dentro de la cámara de deposición, al menos parcialmente, dentro de un campo visual de la(s) fuente(s) de deposición y otro campo visual del espectrómetro para sostener las capas de ICE mientras se forman y se miden sus espectros, respectivamente;a computer system in communication with at least some of the one or more sources of deposition, the support (s) and the spectrometer, where the computer system comprises one or more hardware processors and a non-transient computer readable medium configured for: un sistema informático en comunicación con al menos algunas de la una o más fuentes de deposición, el (los) soporte(s) y el espectrómetro, donde el sistema informático comprende uno o más procesadores de hardware y un medio legible por computadora no transitorio configurados para: receive an ICE design comprising a description of a substrate and a plurality of layers, their respective target complex refractive indices and thicknesses, where the complex refractive indices of recibir un diseño de ICE que comprende una descripción de un sustrato y una pluralidad de capas, sus espesores e índices de refracción complejos objetivo respectivos, donde los índices de refracción complejos de 167 Adjacent layers are different between hypothetical manufactured in accordance with 4¾ -ICE — cjt-n related to a characteristic of a sample;167 capas adyacentes son diferentes entre hipotético fabricado de conformidad conel 4¾ -ICE—cjt-n relacionado con una característica de una muestra;formar al menos algunas de las capas de una pluralidad de ICE de conformidad con el diseño de ICE;forming at least some of the layers of a plurality of ICEs in accordance with the ICE design;measure, by means of the spectrometer during the formation, spectra of the layers of the ICE;and adjust the formation based on the measured spectra. medir, mediante el espectrómetro durante la formación, espectros de las capas de los ICE;y ajustar la formación con base en los espectros medidos.
Independent claims40