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MX336914B

Thin film deposition method.

Abstract

La invención se relaciona con un método para obtener un sustrato recubierto sobre al menos parte de su superficie con al menos una capa de óxido de metal M el espesor físico de la cual es de menos que o igual a 30 nm, no siendo la capa de óxido, parte de una pila de capas que comprende al menos una capa o película de plata. El método comprende los siguientes pasos: al menos una capa intermedia de un material elegido del metal M, un nitruro del metal M, un carburo del metal M y un óxido subestequiométrico en oxigeno del metal M, es depositada por deposición electrónica, no siendo la capa intermedia depositada por encima o por debajo de una capa a base de óxido de titanio, siendo el espesor físico de la capa intermedia de menos que o igual a 30 nm; y al menos parte de la superficie de la capa o película intermedia es oxidada usando un tratamiento con calor, durante el cual la capa intermedia está en contacto directo con una atmósfera oxidante, especialmente aire, no excediendo la temperatura del sustrato 150°C durante el tratamiento térmico.

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Expires 30 September 2030.

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12 claims: 9 independent, 3 dependent

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    REIVINDICACIONES 1. Un proceso para obtener una hoja de vidrio recubierta sobre al menos parte de su superficie con al menos una película de óxido de un metal M cuyo espesor físico es 30 nm o menos, dicha película de óxido no siendo parte de una multicapa, comprendiendo al menos una película de plata, dicho proceso está caracterizado porque comprende los siguientes pasos:- depositar por pulverización catódica al menos una película intermedia de un material seleccionado del metal M, un nitruro del metal M, un carburo del metal M y un óxido subestequiométrico en oxígeno del metal M, dicha película intermedia no siendo depositada por encima o por debajo de una película a base de óxido de titanio, el espesor físico de dicha película intermedia siendo 30 nm o menos;y - oxidar al menos parte de la superficie de dicha película intermedia utilizando un tratamiento con calor, durante el cual dicha película intermedia está en contacto directo con una atmósfera oxidante, la temperatura de dicha hoja de vidrio durante dicho tratamiento con calor no excediendo 100°C.
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    El proceso de conformidad con la reivindicación 1, caracterizado además porque el metal M se selecciona de titanio, estaño, circonio, zinc, tungsteno, INSTiruw';ij'K.··;/ DE Ln . j la película intermedia está hecha de titanio, la película de óxido obtenida después del tratamiento con calor siendo una película de óxido de titanio fotocatalítica.
  3. 3
    4. El proceso de conformidad con una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado además porque el espesor físico de la o de cada película de óxido del metal M es 20 nm o menos.
  4. 4
    5. El proceso de conformidad con una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado además porque la temperatura de la hoja de vidrio durante el tratamiento con calor no excede 50°C.
  5. 5
    6. El proceso de conformidad con una de las reivindicaciones precedentes, caracterizado además porque el tratamiento con calor se lleva a cabo utilizando al menos una radiación láser o utilizando al menos una llama.
  6. 6
    7. El proceso de conformidad con las IN3T;Y D. ;L/i ;··'?;-? reivindicaciones precedentes, caracterizado además porque la radiación láser tiene una longitud de onda entre 500 y 2000 nm.
  7. 7
    8. El proceso de conformidad con cualquiera de la reivindicación 6 y 7, caracterizado porque la energía por unidad de área de la radiación láser en la película intermedia es mayor que o igual a 20 kW/cm 2 .
  8. 8
    9. El proceso de conformidad con una de las reivindicaciones 6 a 8, caracterizado además porque la radiación láser proviene de al menos un haz de láser que forma una línea que irradia simultáneamente todo o parte del ancho de la hoja de vidrio.
  9. 9
    10. El proceso de conformidad con las reivindicaciones precedentes, caracterizado además porque la hoja de vidrio recubierta con la película y el o cada láser lineal se mueven uno relativo al otro, de modo que la diferencia entre las velocidades respectivas de la hoja de vidrio y el láser es 4 metros por minuto o mayor.
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    11. El proceso reivindicaciones 6 a 10, película intermedia está de conformidad con una de las caracterizado además porque la hecha de titanio, la película intermedia hecha de titanio metálico se dopeoita so lado de la hoja de vidrio y, sobre el otro lado de dicha hoja de vidrio, se deposita una multicapa de baja-E que comprende al menos una película de plata, después dicha película intermedia se trata con calor utilizando al menos una radiación láser de modo que la emisividad o resistividad de la multicapa de baja-E se reduzca por al menos 3%, y la película de óxido obtenida después del tratamiento con calor es una película de óxido de titanio fotocatalítico. '3 .3
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    12. El proceso de conformidad con una de las reivindicaciones 1 a 8, caracterizado además porque solo parte de la superficie de la película intermedia se trata con calor para producir patrones, para propósitos estéticos o funcionales.
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    13. Una hoja de vidrio que se obtiene mediante el proceso que se reclama en la reivindicación 1, la hoja de vidrio está caracterizada porque está recubierta sobre una parte de su área con una película de óxido de un metal M cuyo espesor físico es 30 nm o menos, y sobre otra parte de su área con una película de un material seleccionado de dicho metal M, un nitruro de dicho metal M y un carburo de dicho metal M.
Independent claims12