JP5779727B2

Abrasive article having a non-uniform distribution of openings

Abstract

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JP5779727B2, drawing sheet 1
Sheet 1 of 73

Term

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Expires 31 December 2032.

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11 claims: 11 independent, 0 dependent

  1. 1
    アパーチャパターンに配置された複数のアパーチャを有する被覆研磨材を含み、アパーチャパターンは、 いくつかの時計回り螺旋、およびいくつかの反時計回り螺旋を有し、時計回り螺旋の数および反時計回り螺旋の数は、フィボナッチ数、またはフィボナッチ数の倍数である 、研磨物品。
  2. 2
    時計回り螺旋の数および反時計回り螺旋の数は、黄金比に収束する比である、請求項 1 に記載の研磨物品。
  3. 3
    アパーチャパターンは、以下の式による極座標において記載され:式中: nは、アパーチャパターンの中心から外側に数えた、アパーチャの順次番号であり;φは、リファレンス方向と、アパーチャパターンの中心にて始まる極座標系における第n番目のアパーチャの位置ベクトルとの間の角度であり、任意の連続する2つのアパーチャの位置ベクトル間の開度は一定の角度αであり;rは、アパーチャパターンの中心から第n番目のアパーチャの中心までの距離であり;cは、一定のスケーリングファクタである、請求 項1 に記載の研磨物品。
  4. 4
    アパーチャの少なくとも約51%、少なくとも約70%、少なくとも約85%は、式1と一致する、請求 項3 に記載の研磨物品。
  5. 5
    アパーチャパターンは、極座標において、開度が約100°から約170°に及ぶ、請求 項3 に記載の研磨物品。
  6. 6
    アパーチャパターンは、開度が137.508°である、請求 項3 に記載の研磨物品。
  7. 7
    総アパーチャ面積の少なくとも約80%、少なくとも約85%、少なくとも約90%は、式1と一致する、請求 項3 に記載の研磨物品。
  8. 8
    アパーチャは、研磨表面の最長寸法の約0.25%から約5%に及ぶサイズを有する、請求 項1 に記載の研磨物品。
  9. 9
    第1主要面および第2主要面を有するバッキング層と;第1主要面に配置される研磨層であって、バインダおよび複数の研磨粒を含む研磨層と;バッキング層および研磨層を突き通る複数のアパーチャであって、 いくつかの時計回り螺旋、およびいくつかの反時計回り螺旋を有し、時計回り螺旋の数および反時計回り螺旋の数は、フィボナッチ数、またはフィボナッチ数の倍数である アパーチャパターンに配置される、複数のアパーチャとを含む被覆研磨物品。
  10. 10
    バッキング上に研磨層を配置する工程と;研磨層およびバッキングを突き通して複数のアパーチャを生じさせる工程とを含み、 アパーチャは、 いくつかの時計回り螺旋、およびいくつかの反時計回り螺旋を有し、時計回り螺旋の数および反時計回り螺旋の数は、フィボナッチ数、またはフィボナッチ数の倍数である アパーチャパターンに配置される、研磨物品を製造する方法。
  11. 11
    被覆研磨材と; バックアップパッドと:を含む研磨系であって、 被覆研磨材は、アパーチャの分布が いくつかの時計回り螺旋、およびいくつかの反時計回り螺旋を有し、時計回り螺旋の数および反時計回り螺旋の数は、フィボナッチ数、またはフィボナッチ数の倍数である パターンを含み、 バックアップパッドは、被覆研磨材のアパーチャと対応するように構成されたパターンに配置された、複数のエアフロー経路を含む、研磨系。
Independent claims11