JP5044751B2

Scribing and breaking apparatus and system therefor

Abstract

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JP5044751B2, drawing sheet 1
Sheet 1 of 55

Term

Projected expiry 8 July 2028.

  1. Priority
  2. Filed
  3. Granted
  4. Today
  5. Projected expiry

2 claims: 2 independent, 0 dependent

  1. 1
    脆性材料によって構成されたマザー基板が載置されるテーブルと、該マザー基板の表面および裏面にそれぞれ予め設定されたスクライブ 予定 ラインに沿って該マザー基板の表面および裏面をそれぞれスクライブするために上下にそれぞれ対向して該テーブルの側方に設けられた第1スクライブ手段および第2スクライブ手段と、該テーブルに対して、第1スクライブ手段および第2スクライブ手段を挟んで設けられ、該マザー基板の該テーブルの上面からはみ出した一端を把持する捕捉機構とを具備する 分断装置であって、 前記捕捉機構により前記一端を把持した状態で、前記第1スクライブ手段および第2スクライブ手段でスクライブを開始するとともに、スクライブ完了後に前記捕捉機構は、前記一端を把持したまま、揺動することなく前記マザー基板の表面および裏面に平行な方向に離反して、前記一端を前記マザー基板から除去する ことを特徴とする分断装置。
  2. 2
    脆性材料により構成されたマザー基板をテーブルの上面に少なくとも一端がはみ出すように載置する工程と、該マザー基板の該テーブルからはみ出した一端を捕捉機構により把持する 把持 工程と、 該把持工程の後に、 該テーブルと該捕捉機構との間に上下に対向して設けられた第1スクライブ手段および第2スクライブ手段によって、該マザー基板の表面および裏面をスクライブして該マザー基板の表面および裏面にスクライブラインを形成する スクライブライン形成 工程と、 該スクライブライン形成工程の後に、 該捕捉機構を 揺動させることなく前記マザー基板の表面および裏面に平行な方向に 移動させて、該スクライブラインに沿って該マザー基板から分断された 前記一端 を除去する工程とを包含することを特徴とする分断方法。
Independent claims2