EP1376112B1

Method for controlling a cleaning progress of coatings on a working member

Abstract

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EP1376112B1, drawing sheet 1
Sheet 1 of 8

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Expired 26 June 2023, 3.2 years ago.

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9 claims: 2 independent, 7 dependent

  1. 1
    Verfahren zum Steuern eines Reinigungsvorgangs von Belägen auf einem Arbeitsteil mit einem Interdigital-Kondensator (10) mit einer Außenfläche (30a), auf der ein Belag abscheidbar ist, so daß eine Impedanz des Interdigital-Kondensators (10) von dem abgeschiedenen Belag abhängt; einer Impedanzerfassungsvorrichtung (12) zum Erfassen von Impedanzwerten des Interdigital-Kondensators (10); und einer Auswerteeinrichtung (14) zum Berechnen einer Indikatorgröße, die auf eine zeitliche Änderung des Belags hinweist, unter Verwendung der erfaßten Impedanzwerte; wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:wiederholtes Erfassen von Impedanzwerten des Interdigital-Kondensators (10) während des Reinigungsvorgangs;Berechnen einer Indikatorgröße unter Verwendung der erfaßten Impedanzwerte mittels einer Hauptkomponentenanalyse;Erkennen eines Endes des Reinigungsvorgang unter Verwendung der Indikatorgröße.
  2. 2
    Verfahren nach Anspruch 1, bei der der Interdigital-Kondensator eine Schicht (30) aufweist, die SiC aufweist, wobei eine Oberfläche (30a) der Schicht die äußere Fläche bildet.
  3. 3
    Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Impedanzwerte ein Impedanzspektrum umfassen.
  4. 4
    Verfahren nach Anspruch 3, bei dem das Impedanzspektrum in einem Frequenzbereich von 0,5-500 kHz erfaßt wird.
  5. 5
    Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, bei dem die Indikatorgröße unter Verwendung der beiden zuletzt erfaßten Impedanzwerte berechnet wird.
  6. 6
    Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Indikatorgröße mittels eines Vergleichs zweier Meßvektoren in einem Hauptkomponentenraum bestimmt wird.
  7. 7
    Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die Indikatorgröße mittels einer Hauptkomponentenanalyse berechnet wird, bei der alle erfaßten Impedanzwerte, eine Auswahl der erfaßten Impedanzwerte oder gemittelte Impedanzwerte verwendet werden.
  8. 8
    Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, bei demdie Indikatorgröße mittels eines Vergleichens zweier Meßvektoren in einem Hauptkomponentenraum berechnet wird.
  9. 9
    Verfahren nach. Anspruch 8, bei dem die Indikatorgröße mittels eines Abstands zweier Meßvektoren in dem Hauptkomponentenraum und/oder einer Richtung eines Differenzvektors zweier Meßvektoren in dem Hauptkomponentenraum berechnet wird.