CN101142012A

Mixed fluid uniformization device and mixed fluid feeding apparatus

Abstract

A mixed fluid supply device (1) provided in a mixed state where the mixed fluid is further homogenized, comprising a mixed gas piping (4) for supplying auxiliary gas to the main gas piping for mixing, and arranged in the mixed gas piping (4) The mixed fluid homogenization device (6); the mixed fluid homogenization device (6) is provided with a fixed perforated plate (8) and a movable perforated plate (9) that are overlapped and joined to each other, and the movable perforated plate (9) is placed thereon The driving cylinder (11) for moving in the plane direction relative to the fixed perforated plate; each perforated plate (8, 9) is formed with a plurality of through holes (10), so that the two pieces can be changed by the movement of the movable perforated plate (9) The degree of overlap between the through holes (10) of the perforated plates (8, 9) changes the opening ratio of all the through holes (10).

CN101142012A, drawing sheet 1
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14 claims: 6 independent, 8 dependent

  1. 1
    一种混合流体的均匀化装置,其特征在于, 具备配设在流体流路内的相互重叠接合的,可相对位移的多片穿孔板, 形成在各穿孔板上形成多个贯通孔,所述多片穿孔板在相互重叠的状态下在相互的面的方向上相对位移,以此改变各穿孔板的贯通孔的重叠程度,改变全部贯通孔的开口率的结构。
  2. 2
    根据权利要求l所述的混合流体的均勻化装置,其特征在于,包含在所述流路的外部配设的,使穿孔板移动用的穿孔板移动装置, 所述多片穿孔板有固定于流路内部的固定穿孔板和不加固定可移动的可动穿孔 板,该可动穿孔板形成能够借助于所述穿孔板移动装置往复移动的结构。
  3. 3
    根据权利要求1所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于,所述全部贯通 孔的开口率为最大时的开口面积与流路的截面积相同或更大。
  4. 4
    根据权利要求1所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于,所述穿孔板偏 离流路的中心轴的垂直方向倾斜配置。
  5. 5
    根据权利要求2所述的混合流体的均勾化装置,其特征在于,所述固定穿孔 板上安装移动导向构件,该移动导向构件形成与可动穿孔板的往复移动方向的垂直方 向上的两侧部分配合,能够引导其移动的结构。
  6. 6
    根据权利要求1所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于, 一片可动穿孔 板配置于两片固定穿孔板之间,配设能够在该两片固定穿孔板之间保持可动穿孔板能 够滑移的间隙的衬垫,该两片固定穿孔板和衬垫具有为可动穿孔板的移动导向的功能。
  7. 7
    根据权利要求1所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于,所述贯通孔形 成为在可动穿孔板的移动方向的垂直方向上延伸的长孔形状。
  8. 8
    根据权利要求1所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于,还包含在所述 流路内配设的,清洗所述贯通孔用的清洗装置,该清洗装置具有喷出清洗用的液体的 多个喷嘴。
  9. 9
    根据权利要求1所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于,能够通过移动 所述可动穿孔板关闭全部贯通孔。
  10. 10
    —种混合流体的均匀化装置,其特征在于, 具备配设于流体流路内的形成多个贯通孔的穿孔板,该穿孔板形成能够围绕通过穿孔板面内的穿孔板的中心的假想直线转动到任意 角度位置的的结构。
  11. 11
    根据权利要求10所述的混合流体的均匀化装置,其特征在于,所述穿孔板 形成能够在其面为沿着流路的中心轴的方向的全开位置与封闭流路的全闭位置之间 转动的结构。
  12. 12
    —种混合流体供给设备,其特征在于,具备流体流动的流路、以及在该流路内配设的混合流体均勻化装置, 该混合流体均匀化装置是权利要求1~ 11中的任一项记载的混合流体的均勾化装置,所述流路上的配设混合流体均勻化装置的部分的截面积分别大于其上游侧的截 面积和下游侧的截面积。
  13. 13
    —种混合流体供给设备,其特征在于,具备流体流动的流路、以及在该流路内配设的混合流体均勻化装置, 该混合流体均匀化装置是权利要求1-11中的任一项记载的混合流体的均勻化装置,所述流路上的配设混合流体均匀化装置的部分的下游侧的截面积大于其上游侧 的截面积。
  14. 14
    一种混合流体供给设备,其特征在于,具备流体流动的流路、以及在该流路内配设的混合流体均匀化装置, 该混合流体的均勻化装置是权利要求1~ 11中的任一项记载的混合流体的均匀化 装置,还包含在所述流路的混合流体均匀化装置的下游侧配设的检测气体的性状的气 体性状检测装置,形成该气体性状检测装置能够检测流路的断面上的气体成分的分布 的结构。
Independent claims14